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日本HONDA本多石英振動體清洗機

參  考  價面議
具體成交價以合同協議為準

產品型號W-357-1MQG-SKC

品       牌HONDA/本多電子

廠商性質代理商

所  在  地成都市

更新時間：2025-06-07 08:51:42瀏覽次數：56次

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產地類別 進口 價格區(qū)間 面議
儀器種類 通用型 應用領域 醫(yī)療衛(wèi)生,電子/電池,航空航天,電氣,綜合
日本HONDA本多石英振動體清洗機
自成立以來，本多電子株式會社一直致力于開發(fā)新的超聲波技術。
同時，我們通過產學研究和跨行業(yè)交流，將多年來開發(fā)的許多超聲波關鍵技術在社會的發(fā)展、創(chuàng)造未來方面得以應用。

日本HONDA本多石英振動體清洗機

石英振動體類型

下一代清洗技術，實現低損害和高清潔度

2006年,第一臺石英振動體超聲清洗裝置投入實際使用。
在這種方法中，通過在石英振動體上疊加超聲波對半導體晶圓進行清洗。
與批量清洗和流水清洗相比，可以減少化學品的使用量，由于只有石英玻璃與液體接觸，沒有墊片等橡膠材料與液體接觸，因此能保持較高的清潔度。
石英振動體有不同的形狀，以適應不同的用途，能夠根據需要進行有效的清洗，如低損傷清洗、大面積清洗、斜面（邊緣表面）和缺口（晶圓邊緣表面的缺口）的清洗等。


概述

特長

對具有細微結構的晶片進行低損傷清洗

■通過在石英振動元件上疊加超聲波對半導體晶片進行清洗。
將超聲波振動從石英振動元件通過化學溶液傳播到半導體晶片上，接觸區(qū)的化學溶液振動，加速去除表面污染。
■清潔度高，對半導體晶圓的損害最小。
與使用橡膠材料（如墊片）的設備相比，使用石英與化學溶液接觸，可以確保清潔，而不會有橡膠溶出。
■震蕩器冷卻功能通過用氣體（如氮氣）冷卻震蕩器，可以實現穩(wěn)定的連續(xù)工作，沒有頻率波動。
冷卻還能確保沒有溫度的突然變化，從而延長使用壽命。

用途

膠體殘留物的清除
封邊和灰化后的聚合物清除
柵電極極清洗
CMP后的清洗

規(guī)格

■發(fā)振器

類型W-357-1MQG-SKC
振蕩模式單頻震蕩
額定輸出12W
標稱震蕩頻率1MHz
電源輸入AC100V～240V
單相50/60Hz 300VA
外部尺寸
WxDxHmm		180×250×100　
（不包括凸出部分，包括橡膠腳）
質量2.2kg

●可變的輸出范圍：0W到12W（振動體的允許輸入：當使用空氣吹掃冷卻時，連續(xù)10W）。
●周圍操作環(huán)境：溫度：15至35℃，濕度：10至85%。
●外部驅動觸點額定值：超聲波振蕩控制（控制側）觸點輸入：12 V DC 16 mA min.
　報警輸出（主單元）觸點容量：24 V DC 0.5 A
■附屬電纜：電源線（100V為2米/200V為3米），控制線（5米）x4

■振動體

流量未指明定
全長159mm
卡盤尺寸φ24mm
照射面積24cm2
質量600g

●工作液體溫度范圍：20-50℃。
●換能器：PZT
●材料：振動器：石英玻璃，墊片：硅橡膠，外殼：PCTFE
●線長：輸出線1.5米+繼電器線3.5米
●冷卻氣體接頭：兼容管（外徑?6）









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