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東京計(jì)裝TOKYOKEISO 超純水流量計(jì) P-771

東京計(jì)裝TOKYOKEISO 超純水流量計(jì) P-771

 P-771

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流量測(cè)量

吹掃流量計(jì)其他陣容

P-771 是一款全氟樹(shù)脂超潔凈吹掃計(jì)。從接液部件到結(jié)構(gòu)部件，所有部件均采用非金屬材料制成。特別是接液部件和錐形管采用 PFA 一體成型，即使在大氣中也能防止吹掃計(jì)生銹?？商峁┕芏诉B接。P-771 非常適合半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備中的純水/超純水工藝以及化學(xué)注入工藝。

目錄和手冊(cè)

P-771

下載

P系列吹掃流量計(jì)索引和快速參考

下載

*規(guī)格如有變更，恕不另行通知。

主要應(yīng)用

半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中的純/超純水管線和化學(xué)注入管線

規(guī)格

測(cè)量介質(zhì)液體 

公稱直徑管端：Φ6.35×t1（標(biāo)準(zhǔn)）、Φ6×t1、Φ8×t1

Piller接頭（Super 300型）：Φ6×t1管接頭、Φ8×t1管接頭Rc：1/8" 

流量范圍水： 最大 0.2 至 2 L/min

最小 3 至 15mL/min·選擇量程時(shí)，請(qǐng)參考《P系列吹掃流量計(jì)索引及快速參考》（TGS0001）。

·選擇流量量程時(shí)，請(qǐng)參考標(biāo)準(zhǔn)流量表。 

流體溫度最高60°C 

流體壓力最大0.5兆帕。 

過(guò)程連接管端，Piller 配件，Rc 

準(zhǔn)確性±5% 滿量程 

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