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| 名字 | 真空光學(xué)表面處理系統(tǒng) | 
|---|---|
| 型 | PL1-1107A | 
| 總結(jié) | 該器件在真空狀態(tài)下照射 185 nm 和 254 nm。 | 
| 用 | ?透鏡 和棱鏡的清洗和改性?各種基材的預(yù)處理 | 
| 特征 | ?真空度為0~0.001Torr ?輻照尺寸為300×400mm,可作為生產(chǎn)機(jī)器使用。 | 
等離子表面處理機(jī)由 等離子發(fā)生器,氣體輸送管路及等離子噴頭等部分組成,等離子發(fā)生器產(chǎn)生高壓高頻能量在噴嘴鋼管中被激活和被控制的輝光放電中產(chǎn)生 低溫等離子體,等離子體中粒子的能量一般約為幾個(gè)至幾十電子伏特,大于聚合物材料的結(jié)合鍵能,可以破裂有機(jī)大分子的化學(xué)鍵而形成新鍵;但遠(yuǎn)低于高能放射性射線,只涉及材料表面,不影響基體的性能。
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