分辨率

高真空模式　3.0 nm (30 kV)　8.0nm(3.0 kV)  15.0 nm (1.0 kV)

分辨率

低真空模式　4.0 nm (30 kV BED)

放大倍率

5 ～ 300,000 倍

預(yù)設(shè)倍率

6 檔（用戶可以設(shè)定）

電子槍

可以*自動和手動調(diào)節(jié)

加速電壓

0.3 kV ～ 30 kV

燈絲

工廠預(yù)對中發(fā)卡式鎢燈絲

束流電流

1 pA ～ 1 μA

低真空壓力設(shè)定范圍^※1

10 ～ 650 Pa

聚光鏡

高精度變焦聚光鏡

物鏡

錐形物鏡

物鏡光闌

3 檔　帶有XY 微調(diào)功能

像散記憶

有

圖像電位移

±50 μm (WD 10 mm)

自動功能

自動聚焦、

自動亮度/ 襯度、自動消像散

樣品交換

打開樣品室門進行交換

zui大樣品尺寸

200 mm 直徑　80 mm 高度

（WD10 mm）

樣品臺

大型全對中測角樣品臺

X：125 mm　Y：100 mm　Z：80 mm

傾斜：－10 ～ 90°　旋轉(zhuǎn)：360°

標準菜譜

有

圖像模式

二次電子像、REF 像、成份像、形貌像、陰影像

比較窗口（屏幕快照）

6 張（保存、調(diào)出、可以再現(xiàn)成像條件）

OS

Windows7®

顯示器

23 英寸觸摸屏

（顯示器分辨率1,920 × 1,080）

像素數(shù)

640× 480　1,280 × 960

2,560 × 1,920　5,120 × 3,840

圖像顯示模式

（多分屏顯示、全屏顯示、靈活窗口顯示、

信號疊加顯示）

數(shù)字圖像調(diào)整

有（伽瑪校正、偽彩色）

直方圖顯示

有

測量功能

有

（兩點間距離、平行線間距離、角度、直徑等）

3D 測量

有^※2

互補色立體圖像

有

圖像編輯軟件

SMile View™

語言切換

可以在UI 上（日語/ 英語）

圖像格式

BMP、TIFF、JPEG

圖像自動保存

有

抽真空系統(tǒng)

*自動

TMP：1 臺　RP：1 臺或者2 臺^※1

真空模式切換

在操作界面上可以