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膜厚儀測量系統(tǒng)利用薄膜干涉光學(xué)原理

閱讀:1328        發(fā)布時(shí)間:2022-6-26
  膜厚儀具有無損,可靠,高生產(chǎn)力,高靈活性等優(yōu)點(diǎn),可用來定性分析樣品的元素組成,也可用于鍍層和鍍層系統(tǒng)的厚度測量,廣泛應(yīng)用于電路板、半導(dǎo)體、電鍍、五金產(chǎn)品、汽車零部件、衛(wèi)浴潔具、珠寶等工業(yè)中的功能性鍍層電鍍槽液中的成分濃度分析。
  膜厚儀測量系統(tǒng)利用薄膜干涉光學(xué)原理,對(duì)薄膜進(jìn)行厚度測量及分析。用從深紫外到近紅外可選配的寬光譜光源照射薄膜表面,探頭同位接收反射光線。TF200根據(jù)反射回來的干涉光,用反復(fù)校準(zhǔn)的算法快速反演計(jì)算出薄膜的厚度。測量范圍1nm-3mm,可同時(shí)完成多層膜厚的測試。對(duì)于100nm以上的薄膜,還可以測量n和k值。
  膜厚儀的技術(shù)功能:
  微電腦控制系統(tǒng),大液晶顯示、PLC操作面板,方便用戶進(jìn)行試驗(yàn)操作和數(shù)據(jù)查看。
  嚴(yán)格按照標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)的接觸面積和測量壓力,同時(shí)支持各種非標(biāo)定制。
  測試過程中測量頭自動(dòng)升降,有效避免了人為因素造成的系統(tǒng)誤差。
  支持自動(dòng)和手動(dòng)兩種測量模式,方便用戶自由選擇。
  系統(tǒng)自動(dòng)進(jìn)樣,進(jìn)樣步距、測量點(diǎn)數(shù)和進(jìn)樣速度等相關(guān)參數(shù)均可由用戶自行設(shè)定。
  實(shí)時(shí)顯示測量結(jié)果的較小值、平均值以及標(biāo)準(zhǔn)偏差等分析數(shù)據(jù),方便用戶進(jìn)行判斷。
  配置標(biāo)準(zhǔn)量塊用于系統(tǒng)標(biāo)定,保證測試的精度和數(shù)據(jù)一致性。
  系統(tǒng)支持?jǐn)?shù)據(jù)實(shí)時(shí)顯示、自動(dòng)統(tǒng)計(jì)、打印等許多實(shí)用功能,方便快捷地獲取測試結(jié)果。
  標(biāo)準(zhǔn)的USB接口,便于系統(tǒng)與電腦的外部連接和數(shù)據(jù)。

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