光刻膠對(duì)光敏感,在光照或高溫條件下其性能會(huì)發(fā)生變化。光刻膠在儲(chǔ)存過(guò)程中會(huì)老化,因此通常保存在防光的棕色玻璃試劑瓶中(部分電子束膠由于對(duì)紫外波段不感光,有可能直接使用白色塑料瓶包裝),冷藏保存,并且紫外光刻膠只能在黃光(λ> 500 nm)下進(jìn)行處理。通常一款光刻膠的失效日期和建議的存儲(chǔ)溫度會(huì)標(biāo)注產(chǎn)品標(biāo)簽上。如果保持在這些溫度下,未開(kāi)封的光刻膠將穩(wěn)定到有效期(通常是生產(chǎn)后的2年,視產(chǎn)品不同略有不同)。通常光刻膠銷售時(shí)會(huì)有一個(gè)承諾有效日期,這個(gè)日期往往會(huì)小于瓶示質(zhì)保期。需要區(qū)分。
溫度:對(duì)于絕大多數(shù)紫外光刻膠而言,通常建議的保存條件是5-10℃下保存(除制造商要求的特殊保存溫度外)。如果未打開(kāi)的瓶子在低于最佳溫度的條件下(例如,在5 – 8°C的溫度下與建議的10 – 18°C的溫度相比)存儲(chǔ),則可以使一些光刻膠,在超過(guò)其有效期限外還可以保持光刻膠的特性并使用。
如果頻繁打開(kāi)光刻膠試劑瓶會(huì)導(dǎo)致溶劑蒸發(fā),光刻膠會(huì)增稠并因此產(chǎn)生較厚的膜。對(duì)于膜厚為1.4 µm的光刻膠,僅損失1%的溶劑就已經(jīng)導(dǎo)致4%的膜厚,因此帶來(lái)的影響是需要更高的曝光劑量。所以建議按照實(shí)際使用的量進(jìn)行購(gòu)買相應(yīng)包裝規(guī)格的光刻膠。
如果已經(jīng)購(gòu)買了較大包裝的光刻膠,可以分裝在干凈的小瓶中,減小光刻膠開(kāi)蓋次數(shù),大瓶子應(yīng)該密封好并保存于冷藏室中。另外,小瓶光刻膠可以使用錫箔紙包裹,并備注好相關(guān)信息存儲(chǔ)。瓶子的清洗步驟:①丙酮(去除有機(jī)雜質(zhì));②異丙醇(清洗污染的丙酮?dú)埩粑?。揮發(fā)較慢的異丙醇會(huì)破壞光刻膠,因此在裝入光刻膠之前必須保證瓶中無(wú)異丙醇?xì)埩簟?/span>
試劑瓶的選擇:只有合適的塑料(無(wú)染色的特氟龍,無(wú)增塑劑的HD-PE)或低鈉玻璃容器可用于儲(chǔ)存、轉(zhuǎn)移和分配光刻膠。光刻膠分裝后到使用前,根據(jù)粘度的不同,建議等待幾個(gè)小時(shí),以便引入的氣泡能夠脫氣,從而避免在在涂膠時(shí)出現(xiàn)氣孔等缺陷。
稀釋:稀釋光刻膠會(huì)加速光刻膠的老化,因此建議合理計(jì)算使用稀釋膠的量,按需求稀釋,避免出現(xiàn)浪費(fèi)。另外,稀釋?xiě)?yīng)該盡快完成,避免引入顆粒污染物。最后和分裝一樣,稀釋的過(guò)程中不可避免的引入了氣泡,需要用過(guò)靜置一段時(shí)間,讓氣泡逸出后方可使用。
從冰箱中取出后,在任何情況下都不要立即打開(kāi)瓶子,因?yàn)榭諝庵械乃麜?huì)凝結(jié)在過(guò)冷的光刻膠表面,后續(xù)會(huì)形成氣泡等缺陷。因此打開(kāi)之前,應(yīng)將瓶子在室溫中自然恢復(fù)至室溫再打開(kāi)瓶蓋。
對(duì)于顯影液:水溶性顯影液應(yīng)該防止冷凍,即使偶爾的非存儲(chǔ)條件也并不會(huì)導(dǎo)致顯影液失效。有機(jī)顯影液,請(qǐng)按照瓶示存儲(chǔ)條件存儲(chǔ)。對(duì)于一些對(duì)溫度感的有機(jī)溶劑如二甲基亞砜(DMSO)的熔點(diǎn)剛好低于室溫,所以可能會(huì)在較冷的房間里冷凍。解凍可能需要幾天時(shí)間,但解凍后產(chǎn)品仍可照常使用。
對(duì)于添加緩沖試劑的氫氟酸(BOE),在較低溫度的環(huán)境下易結(jié)晶,當(dāng)然這取決于氟化氫濃度。 解凍后BOE任然可以使用。但是由于這些小晶體在幾天后仍然存在,它們會(huì)沉淀在基片上并形成顆粒,所以處理時(shí)必須小心。
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