微型壓力傳感器的準(zhǔn)確度會受哪些方面的影響?
在選擇壓力傳感器時,我們需要考慮它的整體準(zhǔn)確度,哪些方面影響微型壓力傳感器的準(zhǔn)確度?事實上,導(dǎo)致傳感器錯誤的因素有很多。讓我們注意下面四個不可避免的錯誤,它們是傳感器的初始錯誤。
第一個偏移誤差:由于微型壓力傳感器的垂直偏移在整個壓力范圍內(nèi)保持不變,傳感器色散和激光調(diào)整校正的變化將產(chǎn)生偏移誤差。
二是靈敏度誤差:誤差的大小與壓力成正比。如果設(shè)備的靈敏度高于典型值,則靈敏度誤差將是壓力的增加函數(shù)。如果靈敏度低于典型值,則靈敏度誤差將是壓力的遞減函數(shù)。這個錯誤是由擴散過程的變化引起的。
三是線性誤差:這是一個對壓力傳感器初始誤差影響不大的因素,這是由于硅芯片的物理非線性造成的,但對于帶有放大器的傳感器,還應(yīng)包括放大器的非線性.線性誤差曲線可以是凹曲線或凸曲線稱重傳感器。
最后是滯后誤差:在大多數(shù)情況下,壓力傳感器 的滯后誤差*可以忽略不計,因為硅晶片的機械剛度很高。滯后誤差一般只在壓力變化較大的情況下才考慮。
微型壓力傳感器的這四個錯誤是不可避免的。我們只能選擇高精度的生產(chǎn)設(shè)備,用高科技來減少這些誤差。我們還可以在出廠時進行一定的誤差校準(zhǔn),盡可能減少誤差。以滿足客戶的需求。
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