共聚焦顯微鏡——光伏產(chǎn)業(yè)制造智能化測量新技術

我國智能光伏應用持續(xù)升級，產(chǎn)業(yè)各環(huán)節(jié)產(chǎn)量又創(chuàng)新高。根據(jù)光伏行業(yè)規(guī)范公告企業(yè)信息和行業(yè)協(xié)會預測的數(shù)據(jù)來看，全國多晶硅、組件產(chǎn)量同比增長均超過60%，晶硅電池產(chǎn)品出口同比增長超過156%。

作為全尺寸鏈精密測量儀器制造商，為加快推進產(chǎn)業(yè)智能制造和現(xiàn)代化水平，有效提升光伏產(chǎn)業(yè)智能制造水平，中圖儀器VT6000共聚焦顯微鏡可以為太陽能行業(yè)實驗室和生產(chǎn)過程檢測需求服務，提供從二維到三維的多尺度檢測手段。

VT6000共聚焦顯微鏡以針孔共聚焦技術為原理，結合精密Z向掃描模塊、3D建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，對大坡度的產(chǎn)品有更好的成像效果，在滿足精度的情況下使用場景更具兼容性。

1.真彩圖像

配備了真彩相機并提供還原的3D真彩圖像，對細節(jié)的展現(xiàn)纖毫畢現(xiàn)；

2.結構簡單：

儀器整體由一臺輕量化的設備主機和電腦構成，控制單元集成在設備主機之內，亦可采用筆記本電腦驅動。

(1)采用全電動化設計，并可無縫銜接位移軸與掃描軸的切換，圖像視窗和分析視窗同界面的設計風格，實現(xiàn)了所見即所得的快速檢測效果。

(2)采用自研的電動鼻輪塔臺，并對軟件防撞設置與硬件傳感器防撞設置功能進行了優(yōu)化，確保共聚焦顯微鏡在使用高倍物鏡僅不到1mm的工作距離時也能應對。

VT6000共聚焦顯微鏡測量全自動化、精度高、快速測量、處理數(shù)據(jù)便捷等優(yōu)點，能對太陽能電池片微觀結構進行三維形貌重建：

1、能夠對電池板絨面這種表面反射率低且形貌復雜的樣品進行三維形貌重建，并由專用分析模塊自動獲取絨面上每個金字塔的體積，比表面積等信息，計算出單位面積金字塔數(shù)量和不同尺寸金字塔的比例。

2、對柵線進行快速檢測，軟件具備對視場內的柵線自動測量功能，能夠對掃描獲取的三維輪廓進行多剖面分析，計算出每個剖面的柵線高度及寬度尺寸。

新一代測量技術與光伏產(chǎn)業(yè)融合創(chuàng)新，非傳統(tǒng)光學、白光和激光掃描測量設備是越來越多用戶的選擇。