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mitutoyo/超高精度三坐標(biāo)測(cè)量機(jī) LEGEX特征?

來(lái)源:深圳九州工業(yè)品有限公司   2023年10月30日 13:54  

超高精度三坐標(biāo)測(cè)量機(jī) LEGEX




量機(jī) LEGEX


采用固定橋式結(jié)構(gòu),可提供初項(xiàng)達(dá)0.28微米的測(cè)量精度。


產(chǎn)品特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)


LEGEX系列是初項(xiàng)達(dá)0.28μm的高精度CNC三坐標(biāo)測(cè)量機(jī),對(duì)所有可能產(chǎn)生誤差的因素進(jìn)行嚴(yán)格分析并排除或地降低其影響。

本體底座部分嚴(yán)選材料,采用密封結(jié)構(gòu)以實(shí)現(xiàn)高剛性、高衰減性。采用FEM結(jié)構(gòu)解析模擬進(jìn)行的應(yīng)力分析,保證了幾何運(yùn)動(dòng)精度,使負(fù)荷及其它變量波動(dòng)造成的誤差降至最小。此外,還引入了各種技術(shù)來(lái)實(shí)現(xiàn)超高精度,如驅(qū)動(dòng)單元的結(jié)構(gòu)和振動(dòng)對(duì)策等。

 用于位置檢測(cè)的長(zhǎng)度測(cè)量單元配備了超高精度測(cè)量單元(自社開(kāi)發(fā)),該單元采用熱膨脹系數(shù)為≒0的超高精度微晶玻璃尺和高分辨力、高性能反射線(xiàn)性編碼器的組合,具有位置檢測(cè)能力,可實(shí)現(xiàn)超高精度的機(jī)器控制功能。此外,提供豐富的選件,包括觸發(fā)式和非觸發(fā)式測(cè)頭,數(shù)據(jù)處理部等支持各種工件輕松實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量。


● 初項(xiàng)精度:0.28μm~



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