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德國(guó)海德漢HEIDENHAIN標(biāo)準(zhǔn)外殼增量式直線(xiàn)光柵尺工作原理
海德漢DI:1313984-01直線(xiàn)光柵尺基礎(chǔ)信息:
LB 383C標(biāo)準(zhǔn)外殼增量式直線(xiàn)光柵尺
測(cè)量長(zhǎng)度可達(dá)72 m(可根據(jù)需要提供30 m或更長(zhǎng))。
增量密封線(xiàn)性編碼器,具有較大的橫截面,可測(cè)量長(zhǎng)度高達(dá)3040mm
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長(zhǎng)度可達(dá)3040 mm的單段版
帶密封的多段外殼
接口:1 VPP大測(cè)量長(zhǎng)度
單段的LB 383直線(xiàn)光柵尺長(zhǎng)度可達(dá)3 m,多段外殼長(zhǎng)度可達(dá)72 m。不同長(zhǎng)度的LB 383直線(xiàn)光柵尺都擁有高動(dòng)態(tài)性能、高可靠性并在測(cè)量長(zhǎng)度的全長(zhǎng)上保持高精度。
多段外殼
將多段外殼連接在一起可測(cè)量更大長(zhǎng)度。將鋼尺帶穿入多段外殼,并在光柵尺的兩端將光柵尺固定在機(jī)床上。在外殼上,掃描位置位于傾斜的中性區(qū),有效避免銜接部位誤差。
德國(guó)海德漢HEIDENHAIN標(biāo)準(zhǔn)外殼增量式直線(xiàn)光柵尺工作原理
莫爾條紋原理:以透射光柵為例,當(dāng)指示光柵上的線(xiàn)紋和標(biāo)尺光柵上的線(xiàn)紋之間形成一個(gè)小角度 θ,并且兩個(gè)光柵尺刻面相對(duì)平行放置時(shí),在光源的照射下,會(huì)形成明暗相間的莫爾條紋。兩片光柵相對(duì)移過(guò)一個(gè)柵距,莫爾條紋就移過(guò)一個(gè)條紋距離,莫爾條紋的變化周期數(shù)與光柵相對(duì)位移的柵距數(shù)同步。
電子細(xì)分與判向法:為了提高系統(tǒng)分辨率,需要對(duì)莫爾條紋進(jìn)行細(xì)分,多采用電子細(xì)分方法。在一個(gè)莫爾條紋寬度內(nèi),按照一定間隔放置 4 個(gè)光電器件就能實(shí)現(xiàn)電子細(xì)分與判向功能。通過(guò)對(duì)從差分放大器輸出的兩路相位差為 π/2 的信號(hào)進(jìn)行整形、判別比較,可以得到光柵尺的移動(dòng)方向,通過(guò)對(duì)方波脈沖進(jìn)行計(jì)數(shù),可以得到光柵尺的位移和速度。
德國(guó)海德漢HEIDENHAIN標(biāo)準(zhǔn)外殼增量式直線(xiàn)光柵尺特點(diǎn)
高精度:能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的直線(xiàn)位移測(cè)量,分辨率可達(dá)到微米甚至亞微米級(jí)別。
高速度:可以適應(yīng)較高的運(yùn)動(dòng)速度,能夠快速準(zhǔn)確地測(cè)量運(yùn)動(dòng)部件的位移。
可靠性高:采用非接觸式測(cè)量方式,減少了機(jī)械磨損,提高了使用壽命和可靠性,且具有良好的抗干擾能力。
安裝方便:結(jié)構(gòu)相對(duì)簡(jiǎn)單,安裝調(diào)試較為方便,可根據(jù)不同的應(yīng)用場(chǎng)景進(jìn)行靈活安裝。
成本較低:與絕對(duì)式光柵尺相比,增量式直線(xiàn)光柵尺的價(jià)格相對(duì)較低,具有較高的性?xún)r(jià)比。
德國(guó)海德漢HEIDENHAIN標(biāo)準(zhǔn)外殼增量式直線(xiàn)光柵尺應(yīng)用領(lǐng)域
機(jī)床加工:用于車(chē)床、銑床、加工中心等機(jī)床設(shè)備,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)工作臺(tái)或刀具的直線(xiàn)位移,實(shí)現(xiàn)高精度的加工控制,提高加工精度和表面質(zhì)量。
自動(dòng)化生產(chǎn)線(xiàn):在自動(dòng)化生產(chǎn)線(xiàn)上,用于測(cè)量和控制物料輸送、工件定位等直線(xiàn)運(yùn)動(dòng),保證生產(chǎn)線(xiàn)的高效、準(zhǔn)確運(yùn)行。
測(cè)量?jī)x器:如坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、激光干涉儀等測(cè)量?jī)x器中,作為直線(xiàn)位移測(cè)量的核心部件,為測(cè)量提供高精度的位移數(shù)據(jù)。
機(jī)器人:用于機(jī)器人的手臂關(guān)節(jié)或移動(dòng)平臺(tái)的直線(xiàn)位移測(cè)量,實(shí)現(xiàn)機(jī)器人的精確運(yùn)動(dòng)控制,提高機(jī)器人的定位精度和操作準(zhǔn)確性。
半導(dǎo)體制造設(shè)備:在半導(dǎo)體制造過(guò)程中的光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、劃片機(jī)等設(shè)備中,用于精確控制工作臺(tái)的移動(dòng)和定位,確保半導(dǎo)體芯片的制造精度。
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