德國進口原裝BIRD油冷式終端8921適用范圍分析

德國進口原裝BIRD油冷式終端8921適用范圍分析

德國進口原裝BIRD油冷式終端8921是一款高性能的射頻負載設(shè)備，專為現(xiàn)代等離子體工藝中的高精度射頻能量調(diào)控設(shè)計。

BIRD油冷式終端8921適用于需要精確射頻功率調(diào)節(jié)和控制的等離子體應(yīng)用，如半導(dǎo)體制造、材料加工、航空航天以及國防等領(lǐng)域的高性能等離子工藝。

產(chǎn)品名稱：5千瓦超穩(wěn)定油介質(zhì)射頻終止負載

功率額定值：5千瓦

頻率范圍：從直流至28 MHz，部分型號可達1 GHz

最大電壓駐波比（VSWR）：1.1，名義VSWR低于1.05:1

阻抗：50歐姆（標稱值）

VSWR穩(wěn)定性：在穩(wěn)定性頻率13.56 MHz ± 10 kHz下，從0至100%額定功率變化小于0.1分貝

連接器：標配為“QC”型LC（女插頭）

可選配件：互鎖溫控開關(guān)，默認為常閉，溫度達到236°C（457°F）時打開

溫控開關(guān)額定值：115 VAC，10 A 或 230 VAC，5 A

溫度范圍：工作溫度+5至+40°C（+41至+104°F），儲存溫度–40至+45°C（–40至+113°F）

海拔高度：1520米（5000英尺）

濕度：最高95%非冷凝

冷卻方式：油介質(zhì)和自然對流冷卻

尺寸：32.8" x 9.5" x 26.9"（832 x 241 x 681毫米）

重量：126磅（57千克）

BIRD油冷式終端8921以其優(yōu)秀的穩(wěn)定性與精確度，有效地解決了在復(fù)雜等離子應(yīng)用場合中對過程重復(fù)性和一致性的高度需求。

產(chǎn)品避免了負載預(yù)熱階段和由于校準時間差異帶來的重復(fù)性風險，從而顯著降低了與校準相關(guān)的誤差。

產(chǎn)品常與精密射頻功率傳感器配合使用，可以迅速而準確地測量射頻發(fā)生器的功率輸出。

超穩(wěn)定低VSWR負載，用于快速和精確地測量發(fā)電機輸出功率。

在過程臨界頻率下，VSWR的總變化小于0.1分貝。

可選互鎖溫控開關(guān)，提供額外的安全保護。

油介質(zhì)和自然對流冷卻方式，確保設(shè)備長時間穩(wěn)定運行。

BIRD油冷式終端8921適用于各種需要高精度射頻能量調(diào)控的等離子體項目，如刻蝕、沉積、濺射等工藝過程。

注意事項

在使用前，請確保設(shè)備已正確安裝并連接至適當?shù)碾娫春蜕漕l系統(tǒng)。

在操作過程中，請密切關(guān)注設(shè)備的運行狀態(tài)和儀表盤上的各項參數(shù)變化。

如發(fā)現(xiàn)異常情況，應(yīng)立即采取措施進行處理，并聯(lián)系專業(yè)人員進行維修。

定期對設(shè)備進行清潔和保養(yǎng)工作，以確保其處于良好的工作狀態(tài)。

德國進口原裝BIRD油冷式終端8921以其優(yōu)能的性能和穩(wěn)定的表現(xiàn)，在等離子體工藝中發(fā)揮著重要作用。

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