原裝供應(yīng)Osaka Vacuum大阪真空磁浮軸承式復(fù)合分子泵TG1300M

來源：北崎國(guó)際貿(mào)易（北京）有限公司 2025年03月21日 09:35

■ 靈活的安裝姿勢(shì) ■ 緊湊的尺寸 ■ 節(jié)能 ■ 快速啟動(dòng)和停止 ■ 維修電話 ■ 低振動(dòng) ■ 免調(diào)音 ■ 自動(dòng)校準(zhǔn) ■ 轉(zhuǎn)速控制 ■ 大流量排氣 ■ 各種通信規(guī)格 ■符合安全標(biāo)準(zhǔn) NRTL/SEMI-S2/CE ?半導(dǎo)體制造 ?電子槍排氣、離子源排氣 ?FPD 制造 ?表面處理、表面改性 ?各種電子元件的制造 ?分析、檢測(cè)設(shè)備 ?管材、光學(xué)元件的制造 ?加速器、放射線設(shè)施、聚變研究 ?熱處理 ?研發(fā)

進(jìn)氣法蘭		VG200 CF200 ISO-B200 型
抽速	N2 （升/秒）	1300
	N2（帶保護(hù)網(wǎng)）（升/秒）	1230
	H2 （升/秒）	1200
最大壓縮比	N2	1×108
最大壓縮比	H2	1,5×10%4
極限壓力	VG/ISO-B/CF （帕）	<1×10-6 / <1×10-7
極限壓力	VG?ISO-B/CF （托）	<7.5×10-9 / <7.5×10-10
最大氣體流速※1	N2 （SCCM）	3000
啟動(dòng)時(shí)間	（分鐘）	4~5
停機(jī)時(shí)間	（分鐘）	4~5
允許的輔助壓力	（Pa / Torr）	500 / 3.8
推薦的輔助泵	（升/分鐘）	≧250
安裝姿勢(shì)		自由
重量（kg） VG/ISO-B/CF		34 / 42
控制器類型		TC010MA
特殊規(guī)格		-化學(xué)型 - 對(duì)應(yīng)反應(yīng)產(chǎn)物 TG-MI - 超低振動(dòng)規(guī)格 TG-ML - 超高真空型 TG-MU - 耐輻射型 TG-MR

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