burkert寶德8746型熱式氣體質(zhì)量流量控制器20001765深度解析

burkert寶德8746型熱式氣體質(zhì)量流量控制器20001765深度解析

8746型熱式氣體質(zhì)量流量控制器*10nm3/h,NH3,316L基座,G1/4寸,標(biāo)定壓力2bar,4-20mA

控制器| NH3 | 10,000 nm3 /h | 24v DC |內(nèi)螺紋- G1/4" | 4-20 mA

工作原理

核心原理：

通過(guò)測(cè)量氣體流動(dòng)對(duì)熱量的傳遞影響，計(jì)算質(zhì)量流量?？刂破靼瑑蓚€(gè)溫度傳感器：

上游傳感器：測(cè)量氣體未受加熱時(shí)的溫度。

下游傳感器：位于加熱元件后，測(cè)量氣體吸收熱量后的溫度。

當(dāng)氣體流動(dòng)時(shí)，加熱元件的熱量被氣體帶走，導(dǎo)致上下游傳感器產(chǎn)生溫差（ΔT）?？刂破魍ㄟ^(guò)調(diào)整加熱功率維持恒定溫差，加熱功率的變化與氣體質(zhì)量流量成正比。

技術(shù)優(yōu)勢(shì)

高精度誤差通常小于1%，重復(fù)性優(yōu)異，滿足高精度控制需求

快速響應(yīng)響應(yīng)時(shí)間幾毫秒內(nèi)，適應(yīng)快速變化的流量場(chǎng)景

寬量程比量程比可達(dá)100:1，覆蓋低流速到大流量需求

無(wú)需溫壓補(bǔ)償直接測(cè)量質(zhì)量流量，簡(jiǎn)化系統(tǒng)復(fù)雜度

低流速靈敏對(duì)微小流量變化敏感，適用于精密控制

氣體兼容性強(qiáng)可測(cè)量單一或混合氣體

應(yīng)用場(chǎng)景

半導(dǎo)體制造：

用于CVD（化學(xué)氣相沉積）、蝕刻、擴(kuò)散等工藝的氣體流量控制，確保工藝穩(wěn)定性和產(chǎn)品良率。

環(huán)境監(jiān)測(cè)：

稀釋標(biāo)準(zhǔn)氣體，監(jiān)測(cè)空氣質(zhì)量，支持環(huán)保評(píng)估。

化工與能源：

控制反應(yīng)釜?dú)怏w進(jìn)料、燃?xì)鉅t空氣-燃料配比，優(yōu)化能源效率。

醫(yī)療與實(shí)驗(yàn)室：

提供精確的氣體混合比例，支持生物反應(yīng)器、氣相色譜儀等設(shè)備。

環(huán)保與新能源：

監(jiān)測(cè)煙氣排放、控制清潔能源（如氫氣）的輸送。

未來(lái)展望

技術(shù)融合：集成AI算法提升自適應(yīng)能力，優(yōu)化復(fù)雜工況下的控制精度。

材料創(chuàng)新：開發(fā)耐腐蝕、耐高溫的新型傳感器，拓寬應(yīng)用領(lǐng)域。

綠色制造：推動(dòng)節(jié)能設(shè)計(jì)，降低設(shè)備功耗和碳排放。

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