百級潔凈工作臺塵埃粒子標(biāo)準(zhǔn)詳情

大家知道，既然是百級潔凈工作臺，大家對于塵埃粒子這塊很看重。國家為此也制定了相應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)，那么，你們知道百級潔凈工作臺塵埃粒子標(biāo)準(zhǔn)是什么嗎？

百級潔凈工作臺塵埃粒子標(biāo)準(zhǔn)一覽

一、標(biāo)準(zhǔn)依據(jù)

主要參照標(biāo)準(zhǔn)

國際標(biāo)準(zhǔn)：如ISO 14644 - 1等系列標(biāo)準(zhǔn)，對不同潔凈度級別下的塵埃粒子數(shù)量有明確規(guī)定。對于百級潔凈工作臺，該標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了每立方米空氣中≥0.5μm和≥5μm塵埃粒子的數(shù)量上限，確保工作環(huán)境的高度潔凈。

國家標(biāo)準(zhǔn)：例如我國的GB 50073 - 2013《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》等相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，也對潔凈工作臺的塵埃粒子數(shù)量做出了具體規(guī)定，保證了在國內(nèi)生產(chǎn)環(huán)境中的潔凈度要求。

標(biāo)準(zhǔn)的目的和意義

這些標(biāo)準(zhǔn)旨在統(tǒng)一潔凈工作臺的性能評價標(biāo)準(zhǔn)，確保其能有效控制塵埃粒子濃度，為高精密度的實(shí)驗(yàn)、生產(chǎn)等提供合適的環(huán)境。比如在半導(dǎo)體制造中，一個微小的塵埃粒子都可能影響芯片的質(zhì)量和性能，所以嚴(yán)格的塵埃粒子標(biāo)準(zhǔn)是保證產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵。

二、具體塵埃粒子數(shù)量標(biāo)準(zhǔn)

每立方米空氣中≥0.5μm塵粒數(shù)

對于百級潔凈工作臺，每立方米空氣中≥0.5μm的塵粒數(shù)應(yīng)不超過352000個。這是考慮到即使在高潔凈環(huán)境下，也難以消除所有的微小粒子，但通過嚴(yán)格控制可以將其數(shù)量限制在一個極低的水平，以滿足大多數(shù)高精度工作的需求。

例如，在一些高精度電子元器件的生產(chǎn)中，對塵埃粒子的控制要求高，此標(biāo)準(zhǔn)能夠減少塵埃對產(chǎn)品的影響。

每立方米空氣中≥5μm塵粒數(shù)

每立方米空氣中≥5μm的塵粒數(shù)要求為0。這是因?yàn)橄鄬^大顆粒的塵埃更容易對精密工作產(chǎn)生干擾，如在光學(xué)鏡頭制造、生物樣品處理等過程中，大顆粒塵埃可能會導(dǎo)致劃痕、污染等問題，所以必須嚴(yán)格限制其數(shù)量為零，以確保工作環(huán)境的潔凈。

三、檢測方法與合格判定

檢測方法

通常采用激光粒子計(jì)數(shù)器等專業(yè)設(shè)備進(jìn)行檢測。檢測時，采樣頭位于工作臺面中心位置上方0.1m處，以不大于0.3m/s的速度進(jìn)行非定向采樣，采樣時間根據(jù)設(shè)備而有所不同，但需滿足最小采樣量的要求。

例如，對于小型潔凈工作臺，可能需要在多個位置進(jìn)行多次采樣，以確保檢測結(jié)果的準(zhǔn)確性和代表性。

合格判定

若檢測結(jié)果顯示每立方米空氣中≥0.5μm和≥5μm塵埃粒子數(shù)量均符合上述標(biāo)準(zhǔn)，且連續(xù)檢測三次的結(jié)果穩(wěn)定，則判定該潔凈工作臺的塵埃粒子控制符合百級標(biāo)準(zhǔn)。

如果有一項(xiàng)或多項(xiàng)指標(biāo)超出標(biāo)準(zhǔn)，則判定為不合格，需要對潔凈工作臺進(jìn)行檢查和調(diào)整，如更換過濾器、檢查密封情況等，然后重新檢測，直至合格為止。