TXRF 3760 系列日本理學(xué)RIGAKUT 全內(nèi)反射 X 射線熒光光譜儀

來(lái)源：北崎國(guó)際貿(mào)易（北京）有限公司 2025年04月23日 10:18

TXRF 3760 系列

對(duì)晶圓表面的污染進(jìn)行無(wú)損、非接觸式和高靈敏度分析

過(guò)渡金屬 LLD 10 采用直接 TXRF 測(cè)量方法8 原子/厘米2達(dá)到水平。在封閉 X 射線管測(cè)量時(shí)間的 1/3 內(nèi)即可實(shí)現(xiàn)相同的精度，從而實(shí)現(xiàn)高通量。

產(chǎn)品名稱	TXRF 3760 系列
技術(shù)	全內(nèi)反射 X 射線熒光（TXRF）
用	從 Na 到 You 的元素分析以測(cè)量晶圓污染
科技	帶無(wú)液氮檢測(cè)器的 3 光束 TXRF 系統(tǒng)
主要組件	適用于最大 200 mm 晶圓的 XYθ 樣品臺(tái)系統(tǒng)、真空晶圓中的機(jī)器人傳輸系統(tǒng)、ECS/GEM 通信軟件
選擇	Sweep TXRF 軟件（能夠映射晶圓表面的污染物分布以識(shí)別“熱點(diǎn)”）。 ZEE-TXRF 功能可實(shí)現(xiàn)零邊沿排除測(cè)量）
控制（PC）	內(nèi)部 PC、MS Windows®作系統(tǒng)
本體尺寸	1000 （寬） x 1760 （高） x 948 （深）毫米
質(zhì)量	100 kg（主機(jī)）
權(quán)力	三相 200 VAC 50/60 Hz，100 A

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