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蒸發(fā)鍍膜儀是制備集成電路的關(guān)鍵設(shè)備之一
在半導(dǎo)體制造中，蒸發(fā)鍍膜儀可用于沉積金屬電極、絕緣層等薄膜，是制備集成電路的關(guān)鍵設(shè)備之一。例如，通過蒸發(fā)鋁等金屬，可以在硅片上形成導(dǎo)電的電極，實(shí)現(xiàn)電子元件之間的連接。在電子元器件的生產(chǎn)中，如電容器、電感器等，也常常利用蒸發(fā)鍍膜技術(shù)來制備薄膜介質(zhì)或?qū)щ妼樱蕴岣咂骷男阅芎涂煽啃浴?br />
用于制造光學(xué)鏡片的增透膜、反射膜等。通過蒸發(fā)特定的材料，如氟化鎂、銀等，可以在光學(xué)鏡片表面形成一層厚度均勻、光學(xué)性能優(yōu)良的薄膜，減少光線的反射損失，提高鏡片的透光率或反射率。在激光技術(shù)中，可用于制備激光鏡片的防護(hù)膜、反射鏡等，滿足激光系統(tǒng)對光學(xué)元件的高要求。
蒸發(fā)鍍膜儀的組成：
1.真空腔體：這是蒸發(fā)鍍膜儀的主體部分，用于提供一個密閉的高真空環(huán)境。腔體的設(shè)計通?？紤]到易于操作和維護(hù)，如采用前開門式結(jié)構(gòu)，方便取放基片、更換蒸發(fā)源以及進(jìn)行日常的清潔和保養(yǎng)。腔體的大小和形狀會根據(jù)不同的應(yīng)用需求有所差異，可以容納較大尺寸的基底，滿足大規(guī)模生產(chǎn)或特殊實(shí)驗(yàn)的要求。
2.真空系統(tǒng)：由真空泵、真空閥門、真空管道等組成，負(fù)責(zé)將腔體內(nèi)的氣體抽出，以達(dá)到所需的真空度。常見的真空泵包括機(jī)械泵、分子泵等。機(jī)械泵主要用于粗抽，能夠快速將腔體內(nèi)的大部分氣體抽出，而分子泵則用于進(jìn)一步提高真空度，其工作原理是基于高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子將氣體分子吸附并排出，從而獲得真空度。
3.蒸發(fā)源：是蒸發(fā)材料加熱蒸發(fā)的關(guān)鍵部件，根據(jù)加熱方式的不同，有各種不同的類型。如電阻加熱源中的鎢舟、鉬舟等，它們能夠承受高溫，且與蒸發(fā)材料有良好的熱接觸，確保材料均勻受熱蒸發(fā)。電子束蒸發(fā)源則相對復(fù)雜，它通過電子槍產(chǎn)生高能電子束，聚焦在蒸發(fā)材料上，使其迅速熔化并蒸發(fā)。
4.基底支架與樣品臺：用于固定基底，使其處于合適的位置以接收蒸發(fā)材料形成的薄膜。樣品臺通常可以進(jìn)行旋轉(zhuǎn)、傾斜等運(yùn)動，這樣可以保證薄膜在基底表面的均勻性。在有些蒸發(fā)鍍膜儀中，樣品臺還能夠?qū)崿F(xiàn)多工位切換，提高鍍膜效率。
5.控制系統(tǒng)：負(fù)責(zé)對整個鍍膜過程進(jìn)行準(zhǔn)確的控制和調(diào)節(jié)。它可以設(shè)定蒸發(fā)溫度、蒸發(fā)時間、真空度等參數(shù)，并根據(jù)預(yù)設(shè)的程序自動運(yùn)行。同時，控制系統(tǒng)還能實(shí)時監(jiān)測設(shè)備的各項(xiàng)狀態(tài)，如真空度、溫度等，一旦出現(xiàn)異常情況，能夠及時發(fā)出警報并采取相應(yīng)的保護(hù)措施。
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