氣體質量流量單位—sccm與SLM

解答：體積流量 × 標準密度 = 質量流量

（在標準狀態(tài)下，它們可以間接反映質量流量。）

舉例：

氮氣在標準狀態(tài)下的密度為約 1.25 g/L：

1 SLM = 1 L/min =1.25 g/min

100 sccm = 0.1 L/min = 0.125 g/min

愛拓利精準流量測控AITOLY INSTRUMENTS由蘇州愛拓利電子設備有限公司及無錫愛拓利電子科技有限公司組成?？偛刻K州愛拓利位于蘇州市吳江區(qū)柳胥路99號半導體智能制造創(chuàng)新港。分公司無錫愛拓利成立于2017年，位于無錫新吳區(qū)清源路20號大學科技園。愛拓利精準流量測控AITOLY INSTRUMENTS，專業(yè)從事氣體質量流量測量與控制。愛拓利擁有自己的研發(fā)團隊，具有高水平的產品設計、結構、硬件和軟件等研發(fā)能力，是國內少數能夠自主研發(fā)生產高精度氣體質量流量計和氣體質量流量控制器的企業(yè)，更是國內極少數能夠自主研發(fā)生產氣體流量計及流量控制器核心部件（高精度氣體流量傳感器和高穩(wěn)定性微型比例閥）的氣體流量控制產品生產廠家。愛拓利質量流量計及控制器被廣泛應用于半導體、光伏、真空鍍膜、生命科學、燃料電池、精度分析儀器、石化、制氣、醫(yī)療、食品、工業(yè)自動化控制等行業(yè)。在不斷追求創(chuàng)新和突破的同時，愛拓利十分注重產品品質。愛拓利有一套嚴謹科學的檢測標準和質量控制體系，并通過了ISO9001質量體系認證。通過標準化生產，規(guī)范化管理，愛拓利持續(xù)穩(wěn)定地向顧客提供高質量的合格產品。通過多年的研發(fā)、生產和應用經驗積淀，愛拓利先后推出了多款氣體質量流量計和控制器。支持多種通訊協議，氣體種類覆蓋面廣、控制及測量精度高、響應速度快、性能穩(wěn)定。