KASHIYAMA樫山工業(yè)真空泵的工作原理和產(chǎn)品特性

來源：玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司 2025年06月20日 09:16

日本樫山工業(yè)（Kashiyama Industrial Co., Ltd.）創(chuàng)立于1949年，總部位于日本愛知縣春日井市，擁有70多年的歷史，是一家以專業(yè)研發(fā)、制造真空泵及相關(guān)設(shè)備而有名的工業(yè)技術(shù)企業(yè)，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、化工、食品、醫(yī)藥等領(lǐng)域。以下是對其主要產(chǎn)品真空泵的工作原理及相關(guān)技術(shù)參數(shù)的專業(yè)介紹：

機械真空泵工作原理

機械真空泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片等關(guān)鍵部件構(gòu)成。當(dāng)電機驅(qū)動轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時，旋片在離心力作用下緊貼泵腔內(nèi)壁，形成多個小腔室。這些腔室在旋轉(zhuǎn)過程中不斷變化體積，實現(xiàn)氣體的吸入、壓縮，并最終通過排氣口排出，從而在泵的吸入端形成真空環(huán)境

水環(huán)真空泵工作原理

水環(huán)真空泵由圓形殼體和偏心安裝的葉輪組成。葉輪旋轉(zhuǎn)時，水在離心力作用下形成與殼體同心的水膜，葉輪與水膜及相鄰葉片形成密封空間。隨著葉輪旋轉(zhuǎn)，該空間體積變化，完成吸氣、壓縮和排氣過程，實現(xiàn)真空環(huán)境

干式真空泵工作原理

干式真空泵無需油或水等介質(zhì)潤滑和密封。以干式螺桿泵為例，兩個螺桿轉(zhuǎn)子反向旋轉(zhuǎn)，氣體被吸入并隨著螺桿的螺旋運動被壓縮，最終排出泵體，從而實現(xiàn)真空

技術(shù)參數(shù)

表格

系列名稱	電機功率(kW)	極限壓力(Pa)	排氣速度(m3/h)	冷卻方式	重量(kg)
SDE-X	1.3	0.12-1.0	200-500	風(fēng)冷	約150-200
LEM	0.2-11	2.3×103-7.3×103	17-300	水冷	15-300
LEH	0.75-7.5	2.3×103-7.3×103	22-150	水冷	19-250
SDE-TX	具體值未提及	0.5	30000	具體方式未提及	440
NeoDry15G	具體值未提及	1.0	250	具體方式未提及	約120-150

樫山工業(yè)的真空泵產(chǎn)品憑借其性能和可靠性，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、化學(xué)處理、食品包裝、醫(yī)藥生產(chǎn)等領(lǐng)域，為各行業(yè)的工藝流程提供了關(guān)鍵的真空環(huán)境支持，推動了相關(guān)技術(shù)的發(fā)展和進步。在半導(dǎo)體行業(yè)，其產(chǎn)品可用于PVD、CVD、刻蝕等工藝，滿足高潔凈度要求。在化工領(lǐng)域，適用于各種化學(xué)反應(yīng)的真空環(huán)境需求。在食品包裝方面，能有效實現(xiàn)食品的真空包裝，延長保質(zhì)期。在醫(yī)藥生產(chǎn)中，可用于藥品的干燥、提取等工藝過程。

相關(guān)產(chǎn)品

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