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Sensofar S neox 共聚焦白光干涉光學(xué)輪廓儀的操作設(shè)計(jì)，充分兼顧了新手易用性與專業(yè)需求。其核心操作載體 SensoSCAN 軟件采用直觀界面布局，左側(cè)功能欄清晰劃分測量模式選擇、參數(shù)設(shè)置等模塊，右側(cè)實(shí)時(shí)成像區(qū)域可同步顯示樣品狀態(tài)，底部狀態(tài)欄則實(shí)時(shí)更新掃描進(jìn)度與存儲路徑，讓操作過程全程可視。
導(dǎo)航預(yù)覽功能大幅降低定位難度，正式測量前點(diǎn)擊預(yù)覽，設(shè)備自動(dòng)生成低倍全景圖，用戶框選目標(biāo)區(qū)域后，軟件會自動(dòng)調(diào)整鏡頭位置對準(zhǔn)測量點(diǎn)，更換 2.5x 至 100x 物鏡時(shí)，預(yù)覽圖還能同步顯示視場范圍，避免測量點(diǎn)丟失。測量模式可靈活切換，共聚焦、相位差干涉等四種模式覆蓋不同樣品特性，每種模式均有默認(rèn)參數(shù)，新手可直接使用，專業(yè)用戶也能手動(dòng)調(diào)整掃描范圍等參數(shù)，且調(diào)整過程實(shí)時(shí)預(yù)覽效果。
硬件操作同樣便捷，電動(dòng)樣品臺通過軟件操縱桿即可實(shí)現(xiàn) XYZ 軸移動(dòng)，移動(dòng)精度達(dá)微米級，20kg 的承重能力適配多種尺寸樣品，兩側(cè)可調(diào)節(jié)夾具能穩(wěn)固固定工件。鏡頭采用卡扣式設(shè)計(jì)，旋轉(zhuǎn)即可完成裝卸，軟件還會自動(dòng)識別鏡頭型號并匹配參數(shù)。批量檢測時(shí)增配 SensoPRO LT 軟件，預(yù)設(shè)程序后可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測量，支持插件式擴(kuò)展行業(yè)專用模塊，進(jìn)一步提升效率。
S neox 通過融合多種光學(xué)測量技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了從光滑到粗糙表面的全范圍檢測。其核心技術(shù)包含白光干涉（CSI）與相位移干涉（PSI），前者基于白光短相干特性，分光鏡將光源分為參考光與測量光，反射后合并產(chǎn)生干涉條紋，系統(tǒng)通過垂直掃描捕捉信號重建形貌，縱向分辨率達(dá) 0.1nm，橫向分辨率 0.16μm。后者通過壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)參考鏡實(shí)現(xiàn)相位移動(dòng)，采集多幅圖樣提取高度信息，適配超光滑表面測量需求。
設(shè)備還集成共聚焦與 Ai 多焦面疊加技術(shù)，點(diǎn)擊即可自動(dòng)切換適配技術(shù)。多焦面疊加技術(shù)單次掃描深度達(dá) 8mm，支持 86° 斜率粗糙表面測量，適用于模具等復(fù)雜結(jié)構(gòu)檢測。核心光學(xué)部件采用低色散光學(xué)玻璃，經(jīng)多層增透膜處理提升透光率，鏡頭鏡筒選用不銹鋼材質(zhì)，抵抗溫度形變保障同軸度。量子點(diǎn)增強(qiáng)型 CMOS 傳感器在 180 幀 / 秒高速采集下，仍能保持 0.12μm 橫向分辨率，可監(jiān)測動(dòng)態(tài)過程。
實(shí)時(shí)環(huán)境補(bǔ)償算法（REC）讓設(shè)備在振動(dòng)幅度超 100nm 的普通環(huán)境中穩(wěn)定工作，無需專用光學(xué)平臺。RGB 三色 LED 實(shí)現(xiàn)真色彩還原，同步獲取形貌、膜厚與折射率數(shù)據(jù)，減少多次測量誤差。無運(yùn)動(dòng)部件的微顯示器掃描共聚焦設(shè)計(jì)，進(jìn)一步消除振動(dòng)干擾，提升系統(tǒng)穩(wěn)定性。
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