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Sensofar3D共聚焦白光干涉光學(xué)輪廓儀S neox 多技術(shù)融合的測量邏輯
Sensofar S neox 作為新型 3D 共聚焦白光干涉光學(xué)輪廓儀，核心優(yōu)勢在于多測量技術(shù)的集成設(shè)計(jì)。其傳感器頭內(nèi)整合了共聚焦、白光干涉、相位移干涉及 Ai 多焦面疊加技術(shù)，無需手動(dòng)切換，系統(tǒng)可依據(jù)任務(wù)自動(dòng)匹配適配技術(shù)。
產(chǎn)品細(xì)節(jié)上，設(shè)備采用模塊化結(jié)構(gòu)，光學(xué)模塊、樣品臺(tái)與控制模塊可獨(dú)立拆卸，機(jī)身尺寸 600mm×500mm×750mm，重量 70kg，適配多數(shù)實(shí)驗(yàn)室空間。光學(xué)系統(tǒng)防護(hù)等級(jí)達(dá) IP54，能抵御常見粉塵與少量濺水，鏡頭接口兼容 2.5x 至 100x 標(biāo)準(zhǔn)物鏡，還可適配長工作距離、偏光等特種物鏡。
性能方面，縱向分辨率在白光干涉模式下達(dá) 0.1nm，相位移干涉模式下進(jìn)一步優(yōu)化至 0.05nm，橫向分辨率低 0.12μm，單次掃描深度可達(dá) 8mm，支持 86° 斜率表面測量。搭配實(shí)時(shí)環(huán)境補(bǔ)償算法，在振動(dòng)幅度超 100nm 的環(huán)境中仍能穩(wěn)定工作。
用材上，核心光學(xué)部件選用高純度熔融石英玻璃，透光率超 92%，鏡頭采用氧化硅與氟化鎂復(fù)合增透膜，反射率≤0.5%。樣品臺(tái)底座為高強(qiáng)度鑄鐵，臺(tái)面采用 304 不銹鋼，經(jīng)精密研磨后平整度差≤2μm。
核心參數(shù)簡表
參數(shù)類別 | 數(shù)值 / 規(guī)格 |
測量技術(shù) | 共聚焦 + 白光干涉 + 多焦面疊加 |
縱向分辨率 | 0.05nm-0.1nm |
橫向分辨率 | 0.12μm-0.16μm |
掃描深度 | 最大 8mm |
工作環(huán)境 | 18℃-28℃，濕度 30%-65% |
用途覆蓋半導(dǎo)體晶圓檢測、光學(xué)鏡片形貌分析等場景。使用時(shí)先通過 SensoSCAN 軟件預(yù)覽定位，再選擇對(duì)應(yīng)測量模式，新手可直接采用默認(rèn)參數(shù)。
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