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Sensofar新型3D共聚焦白光干涉光學(xué)輪廓儀S neox 從入門到批量檢測
Sensofar S neox 通過軟硬件協(xié)同設(shè)計(jì)，降低了精密測量的操作門檻，同時(shí)滿足專業(yè)用戶的深度需求。其操作體系以 SensoSCAN 軟件為核心，搭配便捷的硬件控制邏輯。
軟件界面采用模塊化布局，左側(cè)功能欄劃分測量模式選擇、參數(shù)設(shè)置等模塊，右側(cè)實(shí)時(shí)顯示樣品成像，底部狀態(tài)欄更新掃描進(jìn)度與存儲(chǔ)路徑。導(dǎo)航預(yù)覽功能可自動(dòng)生成低倍全景圖，用戶框選目標(biāo)區(qū)域后，系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)調(diào)整鏡頭位置，更換 2.5x 至 100x 物鏡時(shí)，預(yù)覽圖同步顯示視場范圍，避免測量點(diǎn)丟失。
測量模式切換靈活，共聚焦、白光干涉、相位移干涉及多焦面疊加四種模式各有適配場景：共聚焦模式橫向分辨率 0.10μm，適合微小結(jié)構(gòu)識(shí)別；相位移干涉縱向分辨率達(dá)亞納米級(jí)，適配超光滑表面；多焦面疊加技術(shù)支持 8mm 掃描深度與 86° 斜率測量。新手可直接使用默認(rèn)參數(shù)，專業(yè)用戶則能手動(dòng)調(diào)整掃描范圍、光源波長等參數(shù)，調(diào)整效果實(shí)時(shí)預(yù)覽。
硬件操作同樣便捷，電動(dòng)樣品臺(tái)通過軟件操縱桿實(shí)現(xiàn) XYZ 軸移動(dòng)，承重達(dá) 20kg，兩側(cè)可調(diào)節(jié)夾具穩(wěn)固固定工件。鏡頭采用卡扣式設(shè)計(jì)，旋轉(zhuǎn)即可裝卸，軟件會(huì)自動(dòng)識(shí)別鏡頭型號(hào)并匹配參數(shù)。批量檢測時(shí)增配 SensoPRO LT 軟件，預(yù)設(shè)程序后可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測量，支持行業(yè)專用模塊擴(kuò)展。
操作流程關(guān)鍵步驟表
操作階段 | 關(guān)鍵動(dòng)作 | 注意事項(xiàng) |
準(zhǔn)備階段 | 清潔樣品臺(tái)，固定樣品 | 樣品表面無雜質(zhì) |
定位階段 | 啟動(dòng)預(yù)覽功能，框選區(qū)域 | 確認(rèn)物鏡倍率匹配 |
測量階段 | 選擇模式，設(shè)置參數(shù) | 新手建議用默認(rèn)參數(shù) |
批量檢測 | 預(yù)設(shè)程序，啟動(dòng)自動(dòng)測量 | 確保樣品裝載到位 |
該操作設(shè)計(jì)適配科研實(shí)驗(yàn)室與生產(chǎn)線場景，特斯拉超級(jí)工廠便利用其實(shí)現(xiàn)每分鐘 30 個(gè)電池極片的涂層檢測。
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