ULVAC愛發(fā)科隔膜型干泵的工作領(lǐng)域是哪些方面

來源：玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司 2025年10月21日 09:46

ULVAC愛發(fā)科的隔膜型干泵，憑借其無油清潔、結(jié)構(gòu)緊湊及維護(hù)簡便等特性，在多個(gè)對真空環(huán)境有苛刻要求的工業(yè)與科研領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。下面這個(gè)表格匯總了它的主要應(yīng)用領(lǐng)域：

主要應(yīng)用領(lǐng)域	具體應(yīng)用場景舉例
?? 半導(dǎo)體與電子制造	晶圓吸附裝置、真空鑷子、零件處理系統(tǒng)
?? 分析儀器與實(shí)驗(yàn)室	分析儀器、科學(xué)實(shí)驗(yàn)裝置、理化儀器、真空過濾、脫氣消泡
?? 醫(yī)療與制藥設(shè)備	醫(yī)療器械、醫(yī)療機(jī)械、制藥機(jī)械（如真空濃縮）
?? 工業(yè)自動化與包裝	自動包裝機(jī)器、真空吸盤
??? 特種工業(yè)設(shè)備	印刷機(jī)械、光學(xué)機(jī)械

ULVAC隔膜型干泵能在上述領(lǐng)域廣泛應(yīng)用，主要得益于以下幾項(xiàng)核心技術(shù)特點(diǎn)：

真正的無油清潔真空：泵腔內(nèi)部不使用油或液體進(jìn)行潤滑和密封，能提供潔凈的真空環(huán)境，從根本上避免了油蒸氣對工藝過程、產(chǎn)品、實(shí)驗(yàn)樣品或環(huán)境造成污染的風(fēng)險(xiǎn)。這對于半導(dǎo)體、制藥、分析儀器等要求高的領(lǐng)域至關(guān)重要。
結(jié)構(gòu)緊湊與易于維護(hù)：采用隔膜的往復(fù)運(yùn)動進(jìn)行排氣，結(jié)構(gòu)簡單。這種設(shè)計(jì)使得泵體體積小、重量輕（例如DAP系列是ULVAC產(chǎn)品中最小型的膜片泵），節(jié)省空間，并且維護(hù)工作相對簡單。
多樣的型號與針對性設(shè)計(jì)：ULVAC提供豐富的型號以滿足不同需求。

標(biāo)準(zhǔn)型：例如DA系列和DAT系列，提供單段式（如DA-60S）和雙段式（如DA-30D, DAT-50D）等不同排氣速度和極限壓力的選擇。
耐腐蝕型：例如DTC系列，所有接觸氣體的部件采用PTFE（聚四氟乙烯）與FPM（氟橡膠）等高耐腐蝕性材料，能夠安全地抽除腐蝕性氣體或有機(jī)溶劑蒸氣，適用于化學(xué)實(shí)驗(yàn)室、特定醫(yī)療及制藥工藝等環(huán)境。

希望以上關(guān)于ULVAC愛發(fā)科隔膜型干泵應(yīng)用領(lǐng)域和技術(shù)特點(diǎn)的介紹能對您有所幫助。如果您能分享更具體的應(yīng)用場景或工藝要求（例如需要處理的氣體類型、所需的真空度等），或許我能提供更具針對性的信息。

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