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四探針電阻測試儀是一種用于測量物質(zhì)電阻率、電阻及方塊電阻的專業(yè)設(shè)備，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體材料、薄層材料檢測以及化工、建材等行業(yè)。它基于四探針接觸法設(shè)計，通過外側(cè)兩探針施加穩(wěn)定電流，內(nèi)側(cè)兩探針測量電勢差，實(shí)現(xiàn)電流-電壓分離測量，有效消除接觸電阻和引線電阻的干擾，確保測量結(jié)果的高精度。
該儀器適配多種樣品形態(tài)，包括塊狀、棒狀及薄膜材料，測量范圍覆蓋電阻率10??～10?Ω·cm，標(biāo)準(zhǔn)不確定度≤2%。其硬件配置先進(jìn)，采用液晶顯示屏與自動溫度補(bǔ)償系統(tǒng)，二代機(jī)型配備自動傳感測試架，減少探針與樣品接觸損傷。內(nèi)置計算機(jī)可自動調(diào)整系數(shù)，通過接口實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)存儲與導(dǎo)出，提升操作便捷性。
四探針電阻測試儀的保養(yǎng)方法：
一、日常保養(yǎng)（每次使用前后）
清潔探針
目的：去除探針尖d的氧化物、油污、灰塵或殘留樣品，防止接觸不良和測量誤差。
方法：
使用無水乙醇（分析純）或異丙醇浸濕無塵布或棉簽，輕輕擦拭四個探針的尖d。
對于頑固污染物，可使用極細(xì)的研磨紙（如金相砂紙，粒度≥1000#）極其輕微地打磨探針尖d，然后用酒精徹d清潔。（此操作需謹(jǐn)慎，避免改變探針形狀或間距）
嚴(yán)禁使用硬物刮擦或腐蝕性溶劑。
清潔樣品臺
用干凈的無塵布或蘸有無水乙醇的棉簽擦拭樣品臺表面，確保無灰塵、油漬或?qū)щ姎埩粑?，避免影響測量或造成短路。
檢查探針狀態(tài)
目視檢查四個探針是否筆直、無彎曲、無斷裂。
確認(rèn)探針尖d銳利但不過分鋒利（避免劃傷樣品），無嚴(yán)重磨損或變形。
檢查探針間距是否一致（可用放大鏡觀察）。
檢查加載機(jī)構(gòu)
手動升降探針數(shù)次，感受是否有卡頓或松動。
確保恒力彈簧或壓力調(diào)節(jié)裝置工作正常，探針能平穩(wěn)下落并保持穩(wěn)定接觸壓力。
二、定期保養(yǎng)（每周/每月）
深度清潔
斷開電源，用壓縮空氣（低氣壓）吹掃探針支架、樣品臺及周圍區(qū)域，清除積聚的細(xì)小顆粒。
檢查并清潔探針與線纜的連接點(diǎn)，確保接觸良好。
校準(zhǔn)驗證
使用標(biāo)準(zhǔn)樣片（已知電阻率或方塊電阻的標(biāo)準(zhǔn)硅片或薄膜電阻片）進(jìn)行測量。
將測量結(jié)果與標(biāo)準(zhǔn)值對比，評估儀器的準(zhǔn)確性和重復(fù)性。
如果偏差超出允許范圍（如±5%），需要進(jìn)行校準(zhǔn)或維修。
檢查線纜與接口
檢查所有連接線纜（探針線、電源線）是否有破損、擠壓或接觸不良。
確保各接口（如USB、RS232）清潔、牢固。
三、長期/專業(yè)保養(yǎng)（每季度/半年/年度）
探針更換
當(dāng)探針出現(xiàn)嚴(yán)重磨損、彎曲、斷裂或無法通過清潔恢復(fù)性能時，必須更換。
務(wù)必使用原廠或規(guī)格完q匹配的探針，確保材質(zhì)、直徑、長度和間距一致。
更換后需重新進(jìn)行校準(zhǔn)驗證。
機(jī)械結(jié)構(gòu)維護(hù)
對升降導(dǎo)軌、軸承等運(yùn)動部件進(jìn)行潤滑（使用專用精密儀器潤滑油，避免過量）。
檢查并緊固所有螺絲和固定件，防止松動影響探針垂直度。
電氣系統(tǒng)檢查
由專業(yè)技術(shù)人員檢查恒流源的穩(wěn)定性、電壓表的精度以及內(nèi)部電路板狀態(tài)。
必要時進(jìn)行專業(yè)校準(zhǔn)（traceable calibration），確保符合計量標(biāo)準(zhǔn)。
軟件與固件更新
檢查制造商是否有發(fā)布新的控制軟件或固件更新，以提升性能或修復(fù)已知問題。
四、通用注意事項與存放
輕拿輕放：避免劇烈震動或撞擊，尤其是探針部分非常脆弱。
環(huán)境要求：
存放和使用環(huán)境應(yīng)干燥、清潔、無腐蝕性氣體。
避免陽光直射和溫度劇烈變化。
理想溫濕度：室溫（20-25°C），相對濕度<60%。
防塵保護(hù)：
不使用時，用防塵罩覆蓋儀器，或存放在專用儀器柜中。
可在儀器內(nèi)放置干燥劑，防潮。
正確操作：
測量時確保樣品表面平整、清潔、干燥。
探針應(yīng)垂直下落，避免側(cè)向受力。
避免在通電狀態(tài)下插拔探針線纜。
記錄保養(yǎng)日志：
建立設(shè)備保養(yǎng)檔案，記錄每次清潔、校準(zhǔn)、更換部件的日期和內(nèi)容。
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