泰勒霍普森PGI粗糙輪廓儀信息

泰勒霍普森PGI系列是一款集高精度表面粗糙度與輪廓測量于一體的多功能計(jì)量儀器，廣泛應(yīng)用于精密制造、光學(xué)元件、半導(dǎo)體、汽車、航空航天及科研領(lǐng)域。

核心技術(shù)特點(diǎn)

相位光柵干涉測量技術(shù)（PGI）

PGI 系統(tǒng)采用獨(dú)特的相位光柵干涉原理，結(jié)合高穩(wěn)定性機(jī)械結(jié)構(gòu)與精密光學(xué)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)對表面形貌的非接觸或接觸式高精度測量。該技術(shù)可同時滿足粗糙度（Ra、Rz 等）和宏觀輪廓（如曲率半徑、傾角、臺階高度）的測量需求。

超高垂直分辨率

垂直分辨率可達(dá) 0.1 納米，水平分辨率優(yōu)于 0.1 微米，適用于超光滑表面（如光學(xué)鏡片、硬盤基板、半導(dǎo)體晶圓）的精密表征。

多功能一體化平臺

PGI 系列支持：

表面粗糙度參數(shù)（ISO 4287/21920 標(biāo)準(zhǔn)）

輪廓形狀分析（球面、非球面、自由曲面）

臺階高度與薄膜厚度測量

波紋度與形狀誤差評估

配套專業(yè)分析軟件提供直觀的3D/2D可視化界面，支持自動報(bào)告生成、數(shù)據(jù)比對、SPC統(tǒng)計(jì)過程控制及符合 ISO/GPS 標(biāo)準(zhǔn)的數(shù)據(jù)輸出。

高穩(wěn)定性機(jī)械結(jié)構(gòu)

采用天然花崗巖基座、空氣軸承導(dǎo)軌及主動隔振系統(tǒng)，確保在工業(yè)環(huán)境或計(jì)量實(shí)驗(yàn)室中均能獲得可重復(fù)、高可靠性的測量結(jié)果。

典型應(yīng)用領(lǐng)域

光學(xué)行業(yè)：非球面透鏡、激光反射鏡、衍射光學(xué)元件（DOE）的面形與粗糙度檢測

半導(dǎo)體與微電子：晶圓表面平整度、CMP后粗糙度、MEMS結(jié)構(gòu)輪廓

精密機(jī)械：軸承滾道、密封面、刀具刃口的微觀形貌分析

科研與計(jì)量院所：納米材料、超精密加工工藝驗(yàn)證、標(biāo)準(zhǔn)樣塊校準(zhǔn)