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滾珠導(dǎo)軌如何助力半導(dǎo)體生產(chǎn)線的高效傳動?

來源:東莞市科士威傳動科技有限公司   2025年10月30日 17:45  

在電子與半導(dǎo)體制造的精密領(lǐng)域中滾珠導(dǎo)軌以納米級定位精度和微米級運(yùn)動控制能力,成為支撐晶圓傳輸、光刻對準(zhǔn)、芯片封裝等核心工藝的“隱形基石”;其低摩擦、高剛性的特性直接定義了設(shè)備生產(chǎn)的極限效率與良率。

 

光刻機(jī):光刻機(jī)是半導(dǎo)體制造的核心設(shè)備,其核心需求是實(shí)現(xiàn)晶圓載臺與光刻鏡頭的納米級步進(jìn)掃描運(yùn)動;滾珠導(dǎo)軌在此承擔(dān)關(guān)鍵傳動作用,是決定芯片制程的“核心運(yùn)動載體”。

 

刻蝕機(jī)/薄膜沉積設(shè)備:刻蝕機(jī)用于將光刻圖案轉(zhuǎn)移到晶圓表面,薄膜沉積設(shè)備用于在晶圓表面生長金屬/絕緣薄膜;兩者均需滾珠導(dǎo)軌實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的線性傳動,滾珠導(dǎo)軌咳適配“復(fù)雜工藝環(huán)境”。

 

離子注入機(jī):離子注入機(jī)用于向晶圓內(nèi)注入雜質(zhì)離子,其晶圓載臺需同時(shí)承載晶圓重量并實(shí)現(xiàn)高精度定位;滾珠導(dǎo)軌的高剛性、高負(fù)載穩(wěn)定性在此發(fā)揮關(guān)鍵作用,承載“高負(fù)載+高精度”雙重需求。

 

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芯片鍵合機(jī):鍵合機(jī)用于將芯片與引線框架通過金線/銅線焊接,或?qū)崿F(xiàn)芯片對芯片的堆疊封裝,對導(dǎo)軌的 “微進(jìn)給精度” 要求ji,需完成 “微米級” 焊接與組裝。

 

顯示屏制造設(shè)備:顯示屏,尤其是柔性OLED的制造需避免劃傷、壓傷,且像素精度達(dá)微米級,滾珠導(dǎo)軌需滿足“低摩擦、無粉塵、輕柔運(yùn)動”需求。

 

從晶圓廠的無塵車間到PCB產(chǎn)線的高速貼片機(jī),滾珠導(dǎo)軌以毫米級設(shè)計(jì)適配狹小空間,用百萬次重復(fù)定位的穩(wěn)定性托舉起電子制造的精密未來,持續(xù)推動行業(yè)向更小、更快、更可靠的方向躍遷。有其他的疑問或者選購需求歡迎聯(lián)系我們科士威傳動傳動咨詢!





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