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自動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀/橢圓偏振測(cè)厚儀/測(cè)厚儀 型號(hào):TP-TPY-2

來(lái)源:北京恒奧德儀器儀表有限公司   2013年08月06日 15:53  

自動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀/橢圓偏振測(cè)厚儀/測(cè)厚儀  型號(hào):TP-TPY-2

產(chǎn)品點(diǎn):
儀器采用消光法自動(dòng)測(cè)量薄膜厚度和折射率,具有度、靈敏度以及自動(dòng)控制等點(diǎn)。光源采用氦氖激光器,率穩(wěn)定波長(zhǎng)度。
儀器采用USB接口與電腦連接,配套軟件能齊,具有多樣數(shù)據(jù)采集及處理方式,適用于不同用戶(hù)的需要。
 
規(guī)格與主要標(biāo):
測(cè)量范圍:薄膜厚度范圍1nm-4000nm     折射率范圍:1-10   
測(cè)量zui小示值:≤1nm                  入射角:20°- 90°度≤0.05°
度盤(pán)刻度:每格1度                    允許樣品尺寸:φ10-φ140mm,厚度≤16mm
偏振器步角:0.014°/步               偏振器方位角范圍:0°- 180°    
測(cè)量膜厚和折射率重復(fù)性度分別為:0.5nm和0.005
儀器測(cè)量度:±0.5nm(薄膜厚度在10-100nm時(shí))
光學(xué)中心度:80mm   
 
成套性:主機(jī)、電控系統(tǒng)、USB接口、配套軟件(需配計(jì)算機(jī))
主機(jī)重量:26kg    外形尺寸:680*390*310mm

裝箱單

序號(hào)

名      稱(chēng)  

規(guī)格或型號(hào)

數(shù)量

備 注

1

自動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀主機(jī)

TP-TPY-2

1臺(tái)

2

主機(jī)電控箱

TP-TPY-2

1臺(tái)

3

Q9連接線

1根

4

數(shù)據(jù)連接線

1根

5

電源線

2根

6

15線連接電纜

1根

7

USB連接電纜

1根

8

二氧化硅膜樣片

1張

軟件安裝盤(pán)

TP-TPY-2

1張

10

使用說(shuō)明書(shū)

TP-TPY-2

1份

11

裝箱單

TP-TPY-2

1份

12

產(chǎn)品合格證

TP-TPY-2

1份

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 北京恒奧德儀器儀表有限公司

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