如何檢測(cè)壓電式壓力傳感器的靈敏度

壓電式壓力傳感器利用的是壓電材料的壓電效應(yīng)，就是壓電材料收到壓力時(shí)會(huì)產(chǎn)生電位差，通過電位差來測(cè)量壓力。目前，用于測(cè)量壓電式壓力傳感器的性能的設(shè)備一般是瞬變壓力信號(hào)發(fā)生器和正弦信號(hào)發(fā)生器。瞬變壓力信號(hào)發(fā)生器產(chǎn)生的是非周期性的壓力信號(hào)，非常適合用來測(cè)量高頻響應(yīng)的壓力傳感器。

正弦壓力信號(hào)發(fā)生器產(chǎn)生的是正弦壓力信號(hào)，測(cè)量方法有以下幾種：1.諧振空腔測(cè)量：采用活塞或汽笛等激發(fā)密閉空腔的空氣振動(dòng)，產(chǎn)生周期性的壓力變化；2.非諧振空腔測(cè)量法：調(diào)制通過容器內(nèi)的氣流而產(chǎn)生周期變化的壓力；3.喇叭式壓力發(fā)生器：動(dòng)圈式喇叭通電后產(chǎn)生振動(dòng)，使空氣耦合腔內(nèi)的氣壓做正弦變化。

在上面提到的這些方法中，用的比較廣發(fā)的是順便壓力信號(hào)發(fā)生器，主要用于高頻、大量程的壓力傳感器的測(cè)定。諧振和非諧振式的有一個(gè)共同的缺點(diǎn)：在高頻高壓下，波形會(huì)嚴(yán)重畸變，所以一般只用于小壓力或低頻范圍的測(cè)量。而喇叭式壓力發(fā)生器雖然可以產(chǎn)生波形良好的高頻壓力，但由于空氣中的聲壓較小，測(cè)量的誤差比較大。

因此，在進(jìn)行壓電式壓力傳感器的靈敏度或其他性能檢測(cè)時(shí)，要根據(jù)實(shí)際的情況，選擇合適的檢測(cè)方法。