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資料簡介
快速退火爐 Heatpulse AG 610 是AG公司的第二代產(chǎn)品，因其優(yōu)良的溫度控制性能、低廉的價(jià)格，目前仍受到半導(dǎo)體器件研制開發(fā)機(jī)構(gòu)及生產(chǎn)廠家的鐘愛，廣泛地應(yīng)用于半導(dǎo)體器件研發(fā)及生產(chǎn)等領(lǐng)域
一、AG610性能提升：
A. 全新控制電路板；
B. 全新外殼；
C. 腔體**翻新；
D. 全新石英TUBE和TRAY，4”~6”WAFER通用；
E. 全新控制主機(jī)。
二、全新的AW控制軟件：
F. 溫度控制穩(wěn)定性 +/-2℃；
G. 溫度控制穩(wěn)定時(shí)間 1~3000S；
H. 溫度重復(fù)性 +/-2℃；
I. 數(shù)據(jù)可存于PC機(jī)硬盤，可直接讀??；
J. RECIPE可圖形界面編輯，非常直觀方便；
K. 可軟件校準(zhǔn)高溫計(jì)溫度，方便、直觀、準(zhǔn)確；
L. 所有設(shè)備接口暴露于計(jì)算機(jī)界面上，維修更方便、直接，可縮短DOWN機(jī)時(shí)間；
M. 硬件自帶“看門狗”功能，確保設(shè)備控制失控時(shí)，設(shè)備自動(dòng)關(guān)閉燈管熱源，保護(hù)設(shè)備；
N. 多種設(shè)備硬件和軟件保護(hù)功能，確保工藝準(zhǔn)確、安全；
O. 具有軟件密碼保護(hù)功能，可設(shè)置不同級(jí)別操作權(quán)限，保護(hù)設(shè)備及工藝參數(shù)。
技術(shù)參數(shù)：
| 主要技術(shù)指標(biāo) | 原廠指標(biāo) | 升級(jí)后的指標(biāo) |
溫度控制 | 穩(wěn)定狀態(tài)溫度范圍（℃） | 400-1150 | 400–1250 |
溫度測量精度（℃） | ±1.2 | ±0.15 | |
溫度控制重復(fù)性（℃） | ±3 | ±0.5 | |
溫度控制度（℃） | ±7 | ±1 | |
溫度狀態(tài)工藝時(shí)間（S） | 1-300 (400-1150℃) | 1-300 (400-1250℃) | |
升溫速率（℃/S） | 10-80 | 10-80 | |
降溫速率（℃/S） | 5-80 | 5-80 | |
溫度控制模式 | PID 控制 | 適應(yīng)性更高的新型模式 | |
軟件功能 | 控制器 | 80386 微機(jī) | 奔騰III微機(jī) |
用戶界面 | 文字界面 | 圖像界面(GUI) | |
數(shù)據(jù)存儲(chǔ) | 無 | 工藝數(shù)據(jù)存于硬盤 | |
工藝菜單編輯 | 繁瑣 | 簡單方便并有圖像界面 | |
SPC功能 | 無 | 使用SPC功能監(jiān)控工藝控制能力和重復(fù)性 | |
網(wǎng)絡(luò)功能 | 無 | 利用Ether望傳輸數(shù)據(jù)至主服務(wù)器 | |
在線幫助 | 無 | 多語言在線幫助 | |
看門(WATCHDOG) | 無 | 計(jì)算機(jī)死機(jī)時(shí)，關(guān)閉碘鎢燈控制器 | |
校準(zhǔn)功能 | 熱電偶校準(zhǔn) | 手動(dòng)校準(zhǔn)，繁瑣 | 軟件校準(zhǔn)，方便準(zhǔn)確 |
腔體校準(zhǔn) | 無 | 可實(shí)現(xiàn)腔體校準(zhǔn)，并能實(shí)現(xiàn)控制 | |
高溫計(jì)校準(zhǔn) | 手動(dòng)校準(zhǔn)，只提供8-12個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)，操作困難且精度低 | 軟件校準(zhǔn)，可達(dá)500個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)，操作簡便且精度高 | |
故障診斷功能 |
| 功能有限 | 提供豐富的診斷功能及故障分析、解答，顯示輸入/輸出(I/O)部件狀態(tài)，方便維護(hù)及維修 |
狀態(tài)監(jiān)測 | 傳感器狀態(tài)監(jiān)測 | 無 | 軟件分析傳感器狀態(tài)是否正常 |
氣體反饋監(jiān)測 | 無 | 增加硬件配置，實(shí)時(shí)監(jiān)測氣體反饋，并以曲線形式顯示 | |
鹵素?zé)艄收蠈?shí)時(shí)監(jiān)測 | 無 | 軟件可分析鹵素?zé)羰欠裾９ぷ?/P> | |
A/D性 |
| 12 bits | 14-16 bits |
物理指標(biāo)：
外圍設(shè)備 | 電源：208V-240V 50/60Hz 100AMP |
循環(huán)水：2.5gpm(9.5lpm) N2或壓縮空氣： 50cfm (1420slm) 冷卻N2或壓縮空氣： 20psi (1.4kg/cm2) – 30psi(2.1kg/cm2) 工藝用氣：10psi(0.7kg/cm2) - 30psi(2.1kg/cm2) | |
設(shè)備尺寸、重量 | 46 cm 寬X 50 cm 深 X 25 cm 高 凈重：40 kg |
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