當(dāng)前位置:北京格微儀器有限公司>>技術(shù)文章展示
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2025
07-17離子濺射儀在微型電極表面鍍膜中的工藝優(yōu)化與性能表征
一、工藝優(yōu)化策略靶材選擇與預(yù)處理靶材適配性:根據(jù)電極材料特性選擇靶材。對(duì)于復(fù)合電極,可采用多靶共沉積技術(shù)。靶材預(yù)處理:定期檢查靶材表面污染情況,采用離子束清洗或機(jī)械拋光去除氧化層,確保濺射原子純度。氣體環(huán)境與壓力控制反應(yīng)濺射優(yōu)化:在氧化物電極制備中,通過調(diào)節(jié)氧氣分壓控制薄膜化學(xué)計(jì)量比。惰性氣體純度:使用高純度氬氣(≥99.999%)作為濺射氣體,減少雜質(zhì)摻入。在微型叉指電極制備中,氬氣純度每提升一個(gè)數(shù)量級(jí),薄膜電阻率可降低15%-20%。電源參數(shù)調(diào)控直流/射頻電源選擇:對(duì)于導(dǎo)電基底,采用直流磁控2025
07-142025
07-10探索鍍金鍍碳一體機(jī)在電子、光學(xué)領(lǐng)域的創(chuàng)新應(yīng)用
鍍金鍍碳一體機(jī)是一種集成了氣相沉積(PVD)與等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)技術(shù)的創(chuàng)新設(shè)備,能夠在同一次工藝過程中實(shí)現(xiàn)金屬鍍層(如金、銅)與非金屬涂層(如類金剛石碳膜DLC)的復(fù)合沉積。這種技術(shù)突破了傳統(tǒng)分步鍍膜的局限,在電子、光學(xué)等領(lǐng)域展現(xiàn)出獨(dú)特的應(yīng)用價(jià)值。鍍金鍍碳一體機(jī)在電子領(lǐng)域的創(chuàng)新應(yīng)用:1.高頻高速電路板問題:傳統(tǒng)銅鍍層在高頻下?lián)p耗大,且表面易氧化導(dǎo)致接觸電阻升高。解決方案:鍍金層:作為導(dǎo)電層,降低信號(hào)傳輸損耗。鍍碳層:在金層上沉積DLC保護(hù)膜,防止氧化并增強(qiáng)耐磨性。2.芯片互連2025
06-232025
06-182025
06-182025
05-19全自動(dòng)離子濺射儀結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)優(yōu)點(diǎn)
全自動(dòng)離子濺射儀是一種用于材料表面鍍膜的高科技設(shè)備,廣泛應(yīng)用于電子、光學(xué)、材料科學(xué)等領(lǐng)域。其結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)具有以下顯著優(yōu)點(diǎn):1.高效自動(dòng)化全流程自動(dòng)化:從樣品加載、抽真空、離子轟擊到鍍膜完成,全程由程序控制,無需人工干預(yù),減少操作誤差??焖馘兡ぃ翰捎酶吣茈x子束直接濺射靶材,成膜速度快,適合批量處理。多工位設(shè)計(jì):部分型號(hào)支持多個(gè)樣品同時(shí)鍍膜,提升實(shí)驗(yàn)效率。2.高精度與均勻性均勻?yàn)R射:通過旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)或掃描離子束,確保鍍膜厚度均勻,適用于復(fù)雜形狀樣品。精確控制:離子能量:可調(diào)節(jié)加速電壓,控制鍍膜致密度。鍍膜2025
05-16全自動(dòng)離子濺射儀具有簡(jiǎn)單易用的交互設(shè)計(jì)
全自動(dòng)離子濺射儀簡(jiǎn)單易用的交互設(shè)計(jì):1.模塊化操作界面分步提示:屏幕顯示當(dāng)前步驟(如“正在抽真空”“開始濺射”),并實(shí)時(shí)更新進(jìn)度條。異常狀態(tài)自動(dòng)彈窗報(bào)警(如真空度不足、靶材耗盡),并提供解決方案提示。參數(shù)互鎖保護(hù):限制參數(shù)輸入范圍(如電流不超過靶材最大承受值),避免誤操作導(dǎo)致設(shè)備損壞。2.免維護(hù)設(shè)計(jì)靶材更換便捷:采用卡扣式或磁吸式靶材座,無需工具即可更換靶材。靶材尺寸標(biāo)準(zhǔn)化,兼容常用規(guī)格。清潔維護(hù)簡(jiǎn)化:濺射腔室采用耐腐蝕材料,定期用清水或酒精擦拭即可??蛇x配自動(dòng)清潔模式。3.安全與合規(guī)性多重防護(hù)2025
05-162025
04-212025
04-18熱蒸發(fā)鍍碳儀:穩(wěn)定運(yùn)行,保障鍍膜一致性
熱蒸發(fā)鍍碳儀是一種用于在各種材料表面沉積碳膜的設(shè)備,通過其穩(wěn)定運(yùn)行,可以有效保障鍍膜的一致性。以下是關(guān)于熱蒸發(fā)鍍碳儀如何實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定運(yùn)行和保障鍍膜一致性的介紹:1.精確的溫度控制確保穩(wěn)定運(yùn)行先進(jìn)的加熱元件鎢絲加熱源:鍍碳儀通常采用鎢絲作為加熱元件。鎢具有高熔點(diǎn)、低蒸氣壓和良好的化學(xué)穩(wěn)定性等優(yōu)點(diǎn),能夠在高溫下長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定工作。當(dāng)電流通過鎢絲時(shí),鎢絲會(huì)產(chǎn)生熱量,使置于其上方的碳源材料受熱蒸發(fā)。通過精確控制鎢絲的加熱功率,可以實(shí)現(xiàn)對(duì)蒸發(fā)溫度的精確調(diào)節(jié),從而保證碳的蒸發(fā)速率穩(wěn)定。石墨加熱器:部分鍍碳儀還采用石2025
04-172025
03-242025
03-172025
03-142025
02-242025
02-182025
02-172025
02-142025
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