化工儀器網(wǎng)首頁>資訊中心>項目成果>正文

長春光機(jī)所在超大口徑非球面光學(xué)反射鏡檢測上獲新突破
2024年06月18日 09:53:48 來源：化工儀器網(wǎng) 作者：宋池 點擊量：8270

中科院團(tuán)隊提出高精度CGH檢測法，實現(xiàn)大口徑反射鏡高精度標(biāo)定，突破光學(xué)檢測極限。

　　【化工儀器網(wǎng) 項目成果】近日，長春光機(jī)所光學(xué)系統(tǒng)先進(jìn)制造重點實驗室張學(xué)軍院士研究團(tuán)隊在光學(xué)檢測領(lǐng)域取得了重大突破。他們提出了一種基于等效曲面的計算機(jī)生成全息圖(CGH)檢測精度校驗方法，并成功利用小口徑高精度輪廓儀實現(xiàn)了對超大口徑非球面反射鏡CGH補(bǔ)償元件的高精度標(biāo)定，精度達(dá)到優(yōu)于λ/150(λ=632.8 nm)的水平。
 
　　大口徑非球面反射鏡是一種關(guān)鍵的光學(xué)元件，廣泛應(yīng)用于高分辨率空間對地觀測、深空探測和天文觀測系統(tǒng)中。其制造技術(shù)水平對國防安全、國民經(jīng)濟(jì)建設(shè)、基礎(chǔ)科研能力具有重要意義。大口徑非球面反射鏡表面形狀往往要求達(dá)到納米級精度，不僅制造工藝難度大，對于控制表面形狀精度的檢測工具也要有很高的要求。
 
　　目前，CGH補(bǔ)償干涉檢測技術(shù)是大口徑非球面反射鏡的面形精度檢測廣泛應(yīng)用的唯一且精度最高的檢測方法，但如何準(zhǔn)確標(biāo)定CGH檢具的測量精度一直是業(yè)界的研究難點。
 
　　張學(xué)軍院士的研究團(tuán)隊通過模擬非球面波前傳播過程，設(shè)計并制造了小口徑的等效元件，使其在自準(zhǔn)直測量光路中與超大口徑非球面反射鏡完全等效。利用這一等效元件，研究團(tuán)隊成功采用小口徑高精度輪廓儀對超大口徑非球面反射鏡的CGH補(bǔ)償元件進(jìn)行了高精度標(biāo)定。
 
　　實驗結(jié)果顯示，采用CGH干涉補(bǔ)償法和高精度輪廓檢測法分別檢測等效曲面元件的面形精度，兩者結(jié)果均優(yōu)于RMS 10 nm，且點差結(jié)果僅優(yōu)于RMS 6 nm。進(jìn)一步的分析表明，兩種方法測量得到的面形誤差在全頻段上表現(xiàn)出良好的一致性，特別是在中低頻段，差值面形誤差的平均值僅為4 nm。這一結(jié)果表明，研究團(tuán)隊提出的基于等效曲面的CGH檢測精度校驗方法具有很高的可靠性和準(zhǔn)確性。
 
　　這一創(chuàng)新性的研究成果已經(jīng)以“Accuracy verification methodology for computer-generated hologram used for testing a 3.5-meter mirror based on an equivalent element”為題，在Light: Advanced Manufacturing期刊上發(fā)表。
 
　　這項研究的成功不僅為大口徑非球面反射鏡的高精度檢測提供了新的技術(shù)途徑，也為光學(xué)檢測領(lǐng)域的發(fā)展注入了新的活力。未來，隨著技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展和完善，相信這一方法將在更多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用，推動光學(xué)技術(shù)的不斷進(jìn)步。
關(guān)鍵詞

相關(guān)閱讀 Related Reading

查看更多+

  • 2024年度特種設(shè)備證后監(jiān)督檢查情況通報：多家單位存問題被處理

    2024年度特種設(shè)備證后監(jiān)督檢查情況通報：發(fā)現(xiàn)部分單位存在資源條件不符、關(guān)鍵過程和產(chǎn)品安全性能問題，市場監(jiān)管總局依法注銷5家生產(chǎn)單...
    2025-03-06 14:02:19

  • 市場監(jiān)管總局發(fā)布《特種設(shè)備檢驗機(jī)構(gòu)核準(zhǔn)規(guī)則（第1號修改單）》

    《特種設(shè)備檢驗機(jī)構(gòu)核準(zhǔn)規(guī)則（第1號修改單）》修改內(nèi)容包括明確檢驗檢測人員必須為全職工作人員、完善下屬單位核準(zhǔn)條件共享規(guī)定、細(xì)化核準(zhǔn)...
    2025-03-06 13:28:02

  • 融資租賃資金超400億元！浙江省發(fā)布2025年大規(guī)模設(shè)備更新和消費品以舊換新實施方案

    近日，浙江省發(fā)展改革委、省財政廳聯(lián)合印發(fā)了《2025年浙江省推動大規(guī)模設(shè)備更新和消費品以舊換新實施方案》。
    2025-02-11 14:18:13

  • 1048.9萬！黑龍江省博物館采購實驗室設(shè)備

    近日，黑龍江省博物館就“新館藏品修復(fù)實驗室設(shè)備設(shè)施采購項目”發(fā)布公開招標(biāo)公告，預(yù)算金額為1048.9萬元。
    2024-12-18 09:25:59

  • 市場監(jiān)管總局發(fā)布新修訂家具國家標(biāo)準(zhǔn) 助力行業(yè)健康發(fā)展

    近日，市場監(jiān)管總局（國家標(biāo)準(zhǔn)委）正式修訂并發(fā)布了《木家具通用技術(shù)條件》（GB/T 3324—2024）、《金屬家具通用技術(shù)條件》（...
    2024-12-04 10:47:37

  • 昆明物理研究所3D應(yīng)力分析系統(tǒng)中標(biāo)結(jié)果公告

    項目名稱：昆明物理研究所3D應(yīng)力分析系統(tǒng)采購項目，項目編號：0653-244253A11020，招標(biāo)范圍：昆明物理研究所3D應(yīng)力分...
    2024-11-22 10:43:38

版權(quán)與免責(zé)聲明

  • ①凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其他方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
  • ②本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負(fù)責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
  • ③如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
第四屆半導(dǎo)體超精密分析技術(shù)及應(yīng)用線上研討會
關(guān)閉