化工儀器網(wǎng)首頁(yè)>資訊中心>廠商報(bào)道>正文

青田恒韌完成新一輪融資，助力半導(dǎo)體前道電子束量測(cè)設(shè)備研發(fā)
2024年10月12日 14:48:21 來(lái)源：化工儀器網(wǎng) 點(diǎn)擊量：6267

近日，青田恒韌智能科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱“青田恒韌”）宣布成功完成新一輪融資。

　　【化工儀器網(wǎng) 廠商報(bào)道】 近日，青田恒韌智能科技有限公司(以下簡(jiǎn)稱“青田恒韌”)宣布成功完成新一輪融資。本輪融資由啟迪之星投資，資金將主要用于半導(dǎo)體前道電子束量測(cè)設(shè)備CD-SEM的研發(fā)制造。
 
　　青田恒韌成立于2022年4月24日，注冊(cè)資本125萬(wàn)元，是一家專注于半導(dǎo)體前道電子束量測(cè)CD-SEM設(shè)備研制的高科技企業(yè)。公司致力于研發(fā)并生產(chǎn)能夠完全替代Hitachi CG5000的CD-SEM設(shè)備，以打破該領(lǐng)域長(zhǎng)期被國(guó)外企業(yè)壟斷的局面。
 
　　電子束檢測(cè)設(shè)備是一種高精度檢測(cè)設(shè)備，主要利用電子束掃描wafer表面并接收其散射信號(hào)，從而獲取wafer表面信息。在半導(dǎo)體領(lǐng)域，電子束檢測(cè)設(shè)備被廣泛應(yīng)用于保證和提高半導(dǎo)體產(chǎn)線的良率。然而，電子束檢測(cè)設(shè)備本身面臨著極高的技術(shù)門檻，研發(fā)難度極大。CD-SEM設(shè)備領(lǐng)域更是長(zhǎng)期被Hitachi等少數(shù)國(guó)際巨頭所壟斷。
 
　　青田恒韌自成立以來(lái)，一直專注于CD-SEM設(shè)備的研發(fā)工作。公司團(tuán)隊(duì)成員早在2019年底就率先提出研發(fā)CD-SEM設(shè)備的目標(biāo)，并經(jīng)過(guò)不懈努力，于2023年年中初步掌握了高端CD-SEM用掃描電鏡的底層核心技術(shù)。在此基礎(chǔ)上，公司于該年年底完成了CD-SEM設(shè)備軟件部分的完整架構(gòu)工作，為在中國(guó)率先取得高端CD-SEM設(shè)備“0”的突破奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。
 
　　青田恒韌創(chuàng)始人趙博士表示，高端的CD-SEM設(shè)備(20nm的溝槽量測(cè))涉及到眾多學(xué)科以及眾多學(xué)科之間的交叉影響問(wèn)題，是一個(gè)極具挑戰(zhàn)性的復(fù)雜工程化設(shè)備。相比于低端CD-SEM(大于100nm的溝槽量測(cè))，高端CD-SEM的難度要大得多。因此，青田恒韌在研發(fā)過(guò)程中一直注重底層核心技術(shù)的突破和軟硬件之間的復(fù)雜勾稽關(guān)系的理清。
 
　　本輪融資的完成，將為青田恒韌在CD-SEM設(shè)備的研發(fā)和生產(chǎn)方面提供更多的資金支持。公司計(jì)劃將資金主要用于進(jìn)一步加大研發(fā)投入，優(yōu)化產(chǎn)品設(shè)計(jì)，提高生產(chǎn)效率，以滿足國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)對(duì)高端CD-SEM設(shè)備的需求。
 
關(guān)鍵詞

相關(guān)閱讀 Related Reading

查看更多+

  • 國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體真空泵企業(yè)完成5億元融資 加速國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程

    國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體真空泵企業(yè)北京通嘉完成5億元融資，由北京新材料基金領(lǐng)投，多家機(jī)構(gòu)跟投。資金將用于研發(fā)、市場(chǎng)拓展及人才引進(jìn)。
    2025-04-10 15:49:59

  • 新型半導(dǎo)體技術(shù)造就世界最小LED

    近日，浙江大學(xué)光電科學(xué)與工程學(xué)院/海寧國(guó)際聯(lián)合學(xué)院狄大衛(wèi)教授和趙保丹研究員團(tuán)隊(duì)，成功研發(fā)出微米和納米鈣鈦礦LED，其降尺寸過(guò)程僅造...
    2025-03-21 11:01:14

  • 核心裝備賦能半導(dǎo)體創(chuàng)新 雷博科儀閃耀慕尼黑上海光博會(huì)

    在本次展會(huì)現(xiàn)場(chǎng)，雷博科儀攜五大優(yōu)良儀器——AC200勻膠機(jī)、DM200-SE顯影機(jī)、HP100-SE烤膠機(jī)、EC400有機(jī)-金屬真...
    2025-03-18 15:11:24

  • 天準(zhǔn)科技募資不超過(guò)9億元 加碼布局工業(yè)視覺(jué)等三大領(lǐng)域

    2月12日，天準(zhǔn)科技宣布發(fā)行9億元可轉(zhuǎn)債，資金用于工業(yè)視覺(jué)裝備及精密測(cè)量?jī)x器、半導(dǎo)體量測(cè)設(shè)備及智能駕駛控制器的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化。
    2025-02-14 14:26:19

  • 復(fù)旦大學(xué)分子束外延（MBE）中標(biāo)結(jié)果公告

    項(xiàng)目名稱：復(fù)旦大學(xué)分子束外延（MBE）采購(gòu)項(xiàng)目，項(xiàng)目編號(hào)：3109-244Z20243037，招標(biāo)范圍：分子束外延（MBE），1套...
    2024-12-21 13:17:40

  • 半導(dǎo)體器件專用設(shè)備制造增長(zhǎng)31.5% 制造業(yè)高端化持續(xù)推進(jìn)

    《中國(guó)發(fā)展報(bào)告2024》顯示，2023年，我國(guó)半導(dǎo)體器件專用設(shè)備制造、航天器及運(yùn)載火箭制造、飛機(jī)制造業(yè)等高技術(shù)高附加值行業(yè)增加值分...
    2024-12-17 14:40:30

版權(quán)與免責(zé)聲明

  • ①凡本網(wǎng)注明“來(lái)源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其他方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來(lái)源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
  • ②本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來(lái)源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)和對(duì)其真實(shí)性負(fù)責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個(gè)人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時(shí)，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來(lái)源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
  • ③如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問(wèn)題，請(qǐng)?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
2025第二屆化工園區(qū)技術(shù)創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)升級(jí)綠色發(fā)展論壇
關(guān)閉