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臥/立式連續(xù)磁控濺射鍍AZO膜生產(chǎn)線
- 公司名稱 上海福宜真空設(shè)備有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2019/5/26 17:09:37
- 訪問(wèn)次數(shù) 359
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工模具硬質(zhì)涂層鍍膜設(shè)備、磁控濺射鍍膜設(shè)備、多弧離子鍍膜設(shè)備、磁控濺射復(fù)合多弧離子鍍鍍膜設(shè)備、連續(xù)線式磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線
| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
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臥/立式連續(xù)磁控濺射鍍AZO膜生產(chǎn)線共設(shè)計(jì)有七個(gè)真空腔體部分，*部分為進(jìn)口室，第二部分為進(jìn)口緩沖室，第三部分為進(jìn)口傳送室，第四部分為工藝室，第五部分為出口傳送室，第六部分為出口緩沖室，第七部分為出口室；兩對(duì)采用PCU04閉路環(huán)控制的中頻孿生Si靶，形成高質(zhì)量的隔離SiO2層；十對(duì)圓柱AZO靶，實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的AZO透明導(dǎo)線膜；設(shè)備設(shè)計(jì)加工尺寸為寬1100mm，長(zhǎng)1400mm的平面基板材料，生產(chǎn)加工周期可優(yōu)化到60－120秒；生產(chǎn)線采用分子泵抽氣形成氣氛隔離的*設(shè)計(jì)，生產(chǎn)線采用渦輪浮分子泵以獲得高效的隔離、穩(wěn)定的抽速和均勻的氣體分布。
臥/立式連續(xù)磁控濺射鍍AZO膜生產(chǎn)線運(yùn)用在薄膜太陽(yáng)能電池上，透明導(dǎo)電膜用為減反射層和透明電極使用，可以提高太陽(yáng)能的轉(zhuǎn)化效率，用AZO薄膜代替ITO薄膜，不僅可以降低生產(chǎn)成本，而且無(wú)毒環(huán)保，膜層性能更加穩(wěn)定。
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