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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>分析儀器>其它分析儀器>其它通用分析>MDPpro 晶圓片晶錠壽命檢測(cè)儀

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MDPpro 晶圓片晶錠壽命檢測(cè)儀

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束蘊(yùn)儀器(上海)有限公司自成立以來(lái),憑借與德國(guó)布魯克(BRUKER)、國(guó)際衍射數(shù)據(jù)中心(ICDD)、德國(guó)Freiberg等國(guó)際實(shí)驗(yàn)室分析儀器品牌的戰(zhàn)略合作,迅速成為業(yè)界儀器供應(yīng)商。

我們擁有一支積極樂觀,正直誠(chéng)信的年輕團(tuán)隊(duì),我們熱忱的信仰科學(xué),相信科學(xué)技術(shù)能為我們的客戶帶來(lái)質(zhì)量較高的生活,為社會(huì)的進(jìn)步起到積極的促進(jìn)作用。

束蘊(yùn)儀器為各類客戶提供完善的實(shí)驗(yàn)室和工業(yè)檢測(cè)儀器及過程控制設(shè)備,專業(yè)的應(yīng)用支持及完善的售后服務(wù),在中國(guó)大陸的諸多領(lǐng)域擁有大量用戶,如高校、科研院所、航空航天、國(guó)家機(jī)關(guān)、檢驗(yàn)機(jī)構(gòu)及工業(yè)企業(yè),產(chǎn)品覆蓋了醫(yī)藥、生物、材料、考古、電子、食品等各個(gè)行業(yè)。公司的宗旨:為客戶量身打造適合的綜合解決方案,技術(shù)支持和現(xiàn)場(chǎng)服務(wù),系統(tǒng)高效的客戶培訓(xùn),快速及時(shí)的售后服務(wù)。

束蘊(yùn)儀器,讓世界更清晰!

主營(yíng)儀器設(shè)備:

--高分辨X射線顯微CT、多量程X射線納米CT、X射線衍射儀、X射線熒光光譜儀、電子順磁共振波譜儀(ESR/EPR)、臺(tái)式核磁共振波譜儀 TD-NMR、光學(xué)輪廓儀等 -- 德國(guó)布魯克Bruker 授權(quán)代理商

--PDF衍射數(shù)據(jù)庫(kù)、JADE軟件--國(guó)際衍射數(shù)據(jù)中心(ICDD)授權(quán)代理商

--晶圓片壽命檢測(cè)儀、在線晶圓片/晶錠點(diǎn)掃或面掃檢測(cè)、晶圓片在線面掃檢測(cè)儀、臺(tái)式PID潛在誘導(dǎo)退化測(cè)試儀、釋光測(cè)定儀等--德國(guó)Freiberg Instruments授權(quán)代理商



單位名稱:束蘊(yùn)儀器(上海)有限公司

詳細(xì)地址:上海市松江區(qū)千帆路288弄G60科創(chuàng)云廊3號(hào)樓602室









MicroCT,顯微CT,微焦點(diǎn)CT,骨骼成像,顯微CT材料學(xué)檢測(cè),微納顯微CT,X射線斷層掃描,TOC,元素檢測(cè)

應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,食品/農(nóng)產(chǎn)品,化工

Mono- and Multi-crystalline wafer and brick lifetime measurement device

應(yīng)用范圍:用于常規(guī)質(zhì)量控制、精密材料研發(fā)的單晶和多晶片及晶錠的壽命測(cè)量

 

 

根據(jù)SEMI標(biāo)準(zhǔn)PV9-1110的非接觸式和無(wú)損成像(μPCD / MDP(QSS))、光電導(dǎo)性、電阻率和p/n檢查。

晶圓切割,爐內(nèi)監(jiān)控,材料優(yōu)化等。


日常壽命測(cè)量,質(zhì)量控制和檢驗(yàn)
 
◆產(chǎn)量:>240塊/天或>720片/天
◆測(cè)量速度:對(duì)于156x156x400mm標(biāo)準(zhǔn)晶錠,<4分鐘
◆生產(chǎn)改善:1mm切割標(biāo)準(zhǔn)為156x156x400mm標(biāo)準(zhǔn)晶錠
◆質(zhì)量控制:用于過程和材料的質(zhì)量監(jiān)控,如單晶硅或多晶硅
◆污染測(cè)定:起源于爐和設(shè)備的金屬(Fe)
◆可靠性:模塊化和堅(jiān)固耐用的工業(yè)儀器,更高的可靠性和運(yùn)行時(shí)間> 99%
◆可重復(fù)性:> 99.5%
◆電阻率:不需要經(jīng)常校準(zhǔn)

精密材料研發(fā)

鐵濃度測(cè)定


陷阱濃度測(cè)定

硼氧測(cè)定

依賴于注入的測(cè)量等

特性


*無(wú)觸點(diǎn)無(wú)破壞的半導(dǎo)體特性
特殊的“表面之下”壽命測(cè)量技術(shù)
不可見缺陷的 靈敏度的可視化
自動(dòng)切割標(biāo)準(zhǔn)定義
空間分辨p/n電導(dǎo)型變換檢測(cè)

 



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