弗萊貝格--MDPlinescan MDP在線晶圓片/晶錠點掃或面掃檢測儀

?公司簡介

Freiberg Instruments成立于2005年，源自德國弗萊貝格工業(yè)大學(xué)。
初致力于開發(fā)一系列快速、無損的電氣特性測試工具，用于測量少數(shù)載流子壽命、光電導(dǎo)率和電阻率等參數(shù)。
2012年整合了Magnettech公司，該公司擁有25年ESR順磁產(chǎn)品經(jīng)驗；2015年又整合了EFG的X射線衍射產(chǎn)品。
Freiberg Instruments是一家發(fā)展迅速，充滿活力，專業(yè)又具有創(chuàng)新的的分析儀器公司，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于劑量學(xué)、
醫(yī)學(xué)研究、材料研究、電子自旋共振、微電子學(xué)、光伏、發(fā)光年代測定和x射線衍射等領(lǐng)域。 

?產(chǎn)品介紹

德國弗萊貝格MDPinlinescan（MDP在線晶圓片/晶錠點掃或面掃檢測儀）是一款靈活的OEM設(shè)備，可以用于多種不同樣品的在線壽命測量：從單晶到多晶硅錠，從生成態(tài)晶圓片到不同鍍層或金屬化晶圓的過程控制。

MDPinlinescan（MDP在線晶圓片/晶錠點掃或面掃檢測儀）配置標(biāo)準(zhǔn)軟件接口，易于連接到許多處理或自動化系統(tǒng)。

 --各種不同的樣品，從單晶硅到多晶硅，從生長的晶片到加工過的晶片，都可以通過MDPlinescan使用少子壽命測量進(jìn)行檢測。

 --MDPlinescan是一個易于集成的OEM單元，可集成到各種自動化的檢測線。關(guān)鍵的測量參數(shù)是實時的載流子壽命掃描。

 --樣品通常由測量頭下的傳送帶或機(jī)器人系統(tǒng)來輸送。應(yīng)用實例從晶錠到晶圓的檢測，每個晶圓的測量速度小于一秒。

 --該儀器有許多專門應(yīng)用可能性。由于其易于集成，只需要以太網(wǎng)連接和電源即可。例如，電池生產(chǎn)線上的來料質(zhì)量檢查是其常用的一種應(yīng)用方向，同樣，鈍化和擴(kuò)散后的工藝質(zhì)量檢查也能用到此款產(chǎn)品。

?特性

 --允許單片調(diào)查

 --配方的基礎(chǔ)測量

 --監(jiān)控材料質(zhì)量、工藝的完整性和穩(wěn)定性

?優(yōu)勢

 --在µ-PCD或穩(wěn)態(tài)激發(fā)條件下測量少數(shù)載流子壽命和電阻率是這個工具的重點。

 --用于集成在生產(chǎn)線的多晶或單晶硅晶圓,包括材料制備，和各種工藝處理階段。

 --小尺寸和標(biāo)準(zhǔn)的自動化接口使集成變得容易。優(yōu)勢是長時間的可靠性和測量結(jié)果的高精度。

?技術(shù)參數(shù)