NS-XY100Z15-01 重載XYZ三維納米定位臺

三英精控（天津）儀器設備有限公司是一家專注于精密運動控制技術和產品的開發(fā)，并致力于為科學研究、創(chuàng)新研發(fā)及精密儀器、設備的制造等提供系統(tǒng)的技術解決方案與集成，滿足市場對精密運動控制技術需求的專業(yè)制造商。

公司核心技術集精密傳感、精密驅動、精密機械、精密控制、精密集成等各領域的技術于一體，綜合技術指標已達到*水平。

主要產品：納米級運動平臺系列；微米級宏動系列；納米位移電容傳感器系列；宏微運動集成系統(tǒng)

納米定位平臺

納米運動控制技術是由光、機、電、控制軟件等多領域技術集成的運動控制技術。內部由一個或多個壓電陶瓷作為驅動，其產生單軸或者多軸的運動；通過柔性鉸鏈技術將壓電陶瓷產生的運動傳遞和放大；經超精密電容傳感器將運動信息傳遞給控制系統(tǒng)，再由控制系統(tǒng)對該運動進行修正、補償和控制；在對運動系統(tǒng)進行閉環(huán)控制時，可實現(xiàn)納米、亞納米級別的運動分辨率和運動控制精度。

三英精控納米臺特點
平：得益于*的硬件設計，有效地減少三維偶聯(lián)影響，保證納米臺全行程的平整度。

準：電容傳感器的應用及*的控制模式和算法，保證納米臺的運動精度。

穩(wěn)：優(yōu)異的機械結構設計以及優(yōu)良的電容傳感器特性，保證了納米臺長時間的穩(wěn)定性。

NS-XY100Z15-01重載XYZ三維納米定位臺

典型應用：

激光加工

顯微成像

光學測量

表面檢測

半導體加工

技術參數(shù)：

 注：閉環(huán)分辨率與帶寬有關。

如有客戶需求，三英精控可以對納米位移運動控制系統(tǒng)進行量身定制，以提供及時、滿意的技術支持與服務。

NS-XY100Z15-01重載XYZ三維納米定位臺

納米定位平臺 納米位移臺 柔性鉸鏈平臺 電控位移臺 高精度電控位移臺 精密滑臺 壓電平臺 壓電納米臺 納米壓電平臺 納米定位臺 壓電柔性鉸鏈平臺 壓電掃描臺 壓電納米定位臺 超低溫納米定位臺