NS-XY100Z100-01 重載XYZ三維納米定位臺

三英精控（天津）儀器設(shè)備有限公司是一家專注于精密運(yùn)動控制技術(shù)和產(chǎn)品的開發(fā)，并致力于為科學(xué)研究、創(chuàng)新研發(fā)及精密儀器、設(shè)備的制造等提供系統(tǒng)的技術(shù)解決方案與集成，滿足市場對精密運(yùn)動控制技術(shù)需求的專業(yè)制造商。

公司核心技術(shù)集精密傳感、精密驅(qū)動、精密機(jī)械、精密控制、精密集成等各領(lǐng)域的技術(shù)于一體，綜合技術(shù)指標(biāo)已達(dá)到*水平。

主要產(chǎn)品：納米級運(yùn)動平臺系列；微米級宏動系列；納米位移電容傳感器系列；宏微運(yùn)動集成系統(tǒng)

納米定位平臺

納米運(yùn)動控制技術(shù)是由光、機(jī)、電、控制軟件等多領(lǐng)域技術(shù)集成的運(yùn)動控制技術(shù)。內(nèi)部由一個或多個壓電陶瓷作為驅(qū)動，其產(chǎn)生單軸或者多軸的運(yùn)動；通過柔性鉸鏈技術(shù)將壓電陶瓷產(chǎn)生的運(yùn)動傳遞和放大；經(jīng)超精密電容傳感器將運(yùn)動信息傳遞給控制系統(tǒng)，再由控制系統(tǒng)對該運(yùn)動進(jìn)行修正、補(bǔ)償和控制；在對運(yùn)動系統(tǒng)進(jìn)行閉環(huán)控制時，可實現(xiàn)納米、亞納米級別的運(yùn)動分辨率和運(yùn)動控制精度。

三英精控納米臺特點
平：得益于*的硬件設(shè)計，有效地減少三維偶聯(lián)影響，保證納米臺全行程的平整度。

準(zhǔn)：電容傳感器的應(yīng)用及*的控制模式和算法，保證納米臺的運(yùn)動精度。

穩(wěn)：優(yōu)異的機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計以及優(yōu)良的電容傳感器特性，保證了納米臺長時間的穩(wěn)定性。

NS-XY100Z100-01 重載XYZ三維納米定位臺

典型應(yīng)用：

顯微成像

激光加工

光學(xué)測量

表面檢測

半導(dǎo)體加工

技術(shù)參數(shù)：

注：閉環(huán)分辨率與帶寬有關(guān)。

如有客戶需求，三英精控可以對納米位移運(yùn)動控制系統(tǒng)進(jìn)行量身定制，以提供及時、滿意的技術(shù)支持與服務(wù)。

NS-XY100Z100-01 重載XYZ三維納米定位臺

納米定位平臺 納米位移臺 柔性鉸鏈平臺 電控位移臺 高精度電控位移臺 精密滑臺 壓電平臺 壓電納米臺 納米壓電平臺 納米定位臺 壓電柔性鉸鏈平臺 壓電掃描臺 壓電納米定位臺 超低溫納米定位臺