UTA DLP投影技術(shù)的無(wú)掩膜光刻機(jī)

UTA產(chǎn)品簡(jiǎn)介

顯微鏡LED曝光單元UTA系列是不需要掩模的用于光刻的圖案投影曝光裝置。

使用金相顯微鏡和LED光源DLP投影儀，將具有機(jī)微米分辨率的任意圖案投影到涂有抗蝕劑的基板上進(jìn)行曝光。

圖案可以在PC上自由創(chuàng)建。

因?yàn)榭梢栽谄胀ǖ氖覂?nèi)環(huán)境中在各種大小盒形狀的單晶薄片上形成電極，所以它比電子束光刻便宜且簡(jiǎn)單，不需要制造昂貴的電極圖案掩膜板。

技術(shù)參數(shù)

•    由于顯微鏡和DLP的結(jié)合，可以用很低的成本來(lái)構(gòu)建系統(tǒng);
     易于使用的軟件可以輕松的創(chuàng)建曝光圖案;
     通過(guò)物鏡放大倍率圖案，可以進(jìn)行大范圍的批量曝光;
     可以連接到您自己的顯微鏡上（選項(xiàng)）;
     分辨率在微米級(jí),最小刻度1um。
     曝光范圍：可達(dá)2.5mm×1.5mm    最小100um×60um

應(yīng)用案例

薄膜FET和霍爾效應(yīng)測(cè)量樣品的電極形成。

從石墨烯/鉬原石中剝離電極形成并評(píng)估其特性。

研發(fā)應(yīng)用的圖案形成。

光刻前的模擬（紅光）

白光刻蝕（可設(shè)置時(shí)間）

相關(guān)論文：

Damage-free LED lithography for atomically thin 2D material devices」