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平面閉環(huán)型掃描器:
掃描范圍:20x20x5μm。
閉環(huán)分辨率約1.5nm,垂直諧振頻率約40kHz。
用于配套中源儀器(ZungWin)的原子力顯微鏡產(chǎn)品。
采用高性能壓電陶瓷,抗扭力設(shè)計 。
可選配:5x5x3μm。
閉環(huán)掃描器結(jié)構(gòu)圖
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