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CY-PECVD-240T-SS 等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備

參考價(jià) 60000
訂貨量 ≥1
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào) CY-PECVD-240T-SS
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2024/12/17 11:38:45
  • 訪問次數(shù) 47

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鄭州成越科學(xué)儀器有限公司位于鄭州市*開發(fā)區(qū),是一家專業(yè)從事材料制備設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)和銷售為一體的高科技公司。重點(diǎn)專注于CVD石墨烯制備設(shè)備、熒光粉燒結(jié)設(shè)備、氧化鋯生物陶瓷燒結(jié)、納米材料制備、電池材料制備、陶瓷材料的微波燒結(jié)、稀有金屬的區(qū)域提純等研究發(fā)展方向。

鄭州成越科學(xué)儀器有限公司的研發(fā)團(tuán)隊(duì)?wèi){借自身在熱處理技術(shù)方面的專業(yè)知識(shí)和豐富的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn),先后研發(fā)出了多款*材料制備設(shè)備。主要產(chǎn)品有:微波燒結(jié)爐、真空管式爐、箱式電阻爐、高頻感應(yīng)爐、氧化鋯燒結(jié)爐、熒光粉燒結(jié)爐、晶體退火爐、電池材料燒結(jié)爐、旋轉(zhuǎn)管式爐、立式管式爐、CVD管式爐等;

其他的產(chǎn)品還有:等離子清洗機(jī)、真空手套箱、真空干燥箱、環(huán)境模擬測(cè)試柜、行星球磨機(jī)、高純石英管、99剛玉管、真空法蘭等。

近年來,在社會(huì)各界的關(guān)心支持下,公司不斷發(fā)展壯大,與國內(nèi)外多所高校和科研單位建立起了合作關(guān)系;公司還聘請(qǐng)了多位國內(nèi)外重點(diǎn)高校的教授,博導(dǎo)為公司常年的技術(shù)顧問,他們時(shí)刻與國內(nèi)外學(xué)術(shù)界保持交流,出國訪問,并親臨一線指導(dǎo)產(chǎn)品的生產(chǎn)和研發(fā),使我公司的產(chǎn)品不斷完善,并緊跟世界研究熱點(diǎn),推出相關(guān)的新產(chǎn)品。產(chǎn)品遠(yuǎn)銷歐美、日韓等國家,并在國內(nèi)外市場(chǎng)獲得業(yè)界*好評(píng)。

如果您正在被國貨的產(chǎn)品質(zhì)量所困擾,選擇我們將改變您對(duì)國貨的某些觀念;如果您正在為自己的實(shí)驗(yàn)方案的實(shí)施而茫然,選擇我們將有專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)為您量身定做!如果您正在為故障設(shè)備的售后無人理會(huì)而發(fā)愁,選擇我們一切的問題將由我們負(fù)責(zé)到底。鄭州成越科學(xué)儀器有限公司的誠信、實(shí)力和產(chǎn)品質(zhì)量獲得業(yè)界的認(rèn)可。歡迎各界朋友蒞臨參觀、指導(dǎo)和業(yè)務(wù)洽談。


管式爐,氣氛爐,馬弗爐,等離子磁控濺鍍膜儀,等離子清洗機(jī),切斷機(jī),拋光機(jī)

簡單介紹:

等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備采用等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積技術(shù),基本溫度低,沉積速率快,在光學(xué)玻璃、硅、石英以及不銹鋼等不同襯底材料上沉積氮化硅、非晶硅和微晶硅等薄膜詳情介紹:化學(xué)氣相沉積采用等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積技術(shù),基本溫度低,沉積速率快,在光學(xué)玻璃、硅、石英以及不銹鋼等不同襯底材料上沉積氮化硅、非晶硅和微晶硅等薄膜,成膜質(zhì)量好,針孔較少,不易龜裂,適用于制備非晶硅和微晶硅薄膜太陽電池器件,可廣泛應(yīng)用于大專院校、科研院所的薄膜材料的科研與小批量制備。
主要功能及特點(diǎn):
等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備利用平板電容式輝光放電原理,將通入沉積室的工藝氣體解離并產(chǎn)生等離子體,被解離的基團(tuán)在等離子體中重新發(fā)生化學(xué)反應(yīng),由于等離子體存在,促進(jìn)氣體分子的分解、化合、激發(fā)和電離,促進(jìn)反應(yīng)活性基團(tuán)的生成,從而降低沉積溫度,在具有一定溫度的基片上沉積形成薄膜。可根據(jù)工藝調(diào)節(jié)等離子體的密度和能量,控制薄膜的生長速率和微結(jié)構(gòu)。
產(chǎn)品參數(shù):


等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備



產(chǎn)品名稱

桌面式4英寸平板等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積PECVD

產(chǎn)品型號(hào)

CY-PECVD-240T-SS

供電電源

AC220V 50Hz

射頻電源

信號(hào)頻率

13.56MHz

功率輸出范圍

0~500W (還可選擇150W, 300W, 1000W)

工作腔體

加熱溫度

RT-500℃(還可選擇600℃,800℃,1000℃等)

樣品臺(tái)尺寸

Φ100mm(兼容4英寸及以下樣品)

樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速

1-20rpm 可調(diào)

腔體材質(zhì)

不銹鋼

觀察窗

Φ60mm, 帶擋板

供氣系統(tǒng)

通道數(shù)

(可根據(jù)需要選擇其他通道數(shù),其他氣體種類,其他測(cè)量范圍)

測(cè)量單位

質(zhì)量流量計(jì)

測(cè)量范圍

通道: 0200SCCM for O2  

B通道: 0200SCCM for N2

C通道: 0200SCCM for Ar

真空系統(tǒng)

前級(jí)泵抽速

1.1L/s

分子泵抽速

60L/s

真空測(cè)量

復(fù)合真空計(jì)

真空度

5.0*10-3Pa

水冷機(jī)

水流速

10L/min

冷卻功率

50W/




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