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CY-PECVD-240T-SS 等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備
參考價(jià) | ¥ 60000 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) CY-PECVD-240T-SS
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/12/17 11:38:45
- 訪問次數(shù) 47
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簡單介紹:
等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備采用等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積技術(shù),基本溫度低,沉積速率快,在光學(xué)玻璃、硅、石英以及不銹鋼等不同襯底材料上沉積氮化硅、非晶硅和微晶硅等薄膜詳情介紹:化學(xué)氣相沉積采用等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積技術(shù),基本溫度低,沉積速率快,在光學(xué)玻璃、硅、石英以及不銹鋼等不同襯底材料上沉積氮化硅、非晶硅和微晶硅等薄膜,成膜質(zhì)量好,針孔較少,不易龜裂,適用于制備非晶硅和微晶硅薄膜太陽電池器件,可廣泛應(yīng)用于大專院校、科研院所的薄膜材料的科研與小批量制備。
主要功能及特點(diǎn):
等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備利用平板電容式輝光放電原理,將通入沉積室的工藝氣體解離并產(chǎn)生等離子體,被解離的基團(tuán)在等離子體中重新發(fā)生化學(xué)反應(yīng),由于等離子體存在,促進(jìn)氣體分子的分解、化合、激發(fā)和電離,促進(jìn)反應(yīng)活性基團(tuán)的生成,從而降低沉積溫度,在具有一定溫度的基片上沉積形成薄膜。可根據(jù)工藝調(diào)節(jié)等離子體的密度和能量,控制薄膜的生長速率和微結(jié)構(gòu)。
產(chǎn)品參數(shù):
產(chǎn)品名稱 | 桌面式4英寸平板等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積PECVD | |
產(chǎn)品型號(hào) | CY-PECVD-240T-SS | |
供電電源 | AC220V 50Hz | |
射頻電源 | 信號(hào)頻率 | 13.56MHz |
功率輸出范圍 | ||
工作腔體 | 加熱溫度 | RT-500℃(還可選擇600℃,800℃,1000℃等) |
樣品臺(tái)尺寸 | Φ100mm(兼容4英寸及以下樣品) | |
樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速 | 1-20rpm 可調(diào) | |
腔體材質(zhì) | 不銹鋼 | |
觀察窗 | Φ60mm, 帶擋板 | |
供氣系統(tǒng) | 通道數(shù) | 3 (可根據(jù)需要選擇其他通道數(shù),其他氣體種類,其他測(cè)量范圍) |
測(cè)量單位 | 質(zhì)量流量計(jì) | |
測(cè)量范圍 | A 通道: 0~200SCCM for O2 | |
B通道: 0~200SCCM for N2 | ||
C通道: 0~200SCCM for Ar | ||
真空系統(tǒng) | 前級(jí)泵抽速 | 1.1L/s |
分子泵抽速 | 60L/s | |
真空測(cè)量 | 復(fù)合真空計(jì) | |
真空度 | 5.0*10-3Pa | |
水冷機(jī) | 水流速 | 10L/min |
冷卻功率 | 50W/℃ |