CY-MSZ180-I-DC-Q 小型臺式單靶磁控濺射鍍膜儀
參考價 | ¥ 60000 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 CY-MSZ180-I-DC-Q
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/12/20 16:44:10
- 訪問次數(shù) 52
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 1-5萬 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 地礦,能源,建材,電子,冶金 |
簡單介紹:
小型臺式單靶磁控濺射鍍膜儀可用于金屬薄膜的制備,在電子領(lǐng)域、光學(xué)領(lǐng)域、特殊陶瓷制備等領(lǐng)域均有應(yīng)用,也可實驗室SEM樣品制備。
詳情介紹:
本套配置采用石英真空腔體,鍍膜過程全向可視,便于實驗的觀察記錄,腔體設(shè)計開啟方便,易于清理,十分適合實驗室使用。同時設(shè)備配有旋轉(zhuǎn)加熱樣品臺,可以有效提高薄膜的均勻性和成膜的質(zhì)量。整機采用模塊化設(shè)計,操作邏輯簡單,操作界面直觀,利于上手。
技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品名稱 | 小型臺式單靶磁控濺射鍍膜儀 | |
產(chǎn)品型號 | CY-MSZ180-I-DC-Q | |
樣品臺 | 外形尺寸 | φ100mm |
震動頻率 | 20Hz-20000Hz | |
磁控靶槍 | 配一支兩英寸磁控靶,靶材尺寸:直徑50mm,厚度≦3mm | |
真空腔體 | 腔體尺寸 | φ180mm X 200mm |
觀察窗口 | 全向透明 | |
腔體材料 | 高純石英 | |
開啟方式 | 上蓋拆卸式 | |
真空系統(tǒng) | 前級泵 | 低噪音雙極旋片泵 |
分子泵 | 低噪音大抽速渦輪分子泵 | |
真空測量 | 復(fù)合真空計,量程:10-5~105Pa | |
抽氣接口 | KF40 | |
排氣接口 | KF16 | |
系統(tǒng)真空 | 1.0×10-4Pa | |
供電電源 | AC 220V 50/60Hz | |
抽氣速率 | 分子泵抽速600L/s,前級泵抽速1.1L/s | |
電源配置 | 電源數(shù)量 | 直流電源一套 |
輸出功率 | 300W | |
其他參數(shù) | 供電電壓 | AC220V,50Hz |
整機功率 | 2kW | |
整機尺寸 | 550mm X 350mm X1200mm |