化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>工藝測量和檢測設(shè)備>晶圓缺陷光學(xué)檢測設(shè)備> KLA Candela® 8720表面缺陷檢測系統(tǒng)
KLA Candela® 8720表面缺陷檢測系統(tǒng)
| 參考價 | ￥50000-￥999999/臺 |
- 公司名稱 德國韋氏納米系統(tǒng)（香港）有限公司
- 品牌KLA-Tencor
- 型號
- 所在地香港特別行政區(qū)
- 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
- 更新時間2025/3/9 22:46:27
- 訪問次數(shù) 46
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KLA Candela® 8720表面缺陷檢測系統(tǒng)采用專有的光學(xué)技術(shù)，可同時測量兩個入射角的散射強度。它可以捕捉到形貌變化、表面反射率、相位變化和光致發(fā)光，從而對各種關(guān)鍵缺陷進行自動檢測與分類。應(yīng)用包括射頻、功率和高亮度LED的氮化鎵檢測，能夠檢測裂紋、晶體位錯、小丘、微坑、滑移線、凸點和六角凸點以及外延缺陷。KLA Candela® 8720表面缺陷檢測系統(tǒng)還可用于其他化合物半導(dǎo)體工藝材料的缺陷檢測，例如用于LED、垂直腔面發(fā)射激光器和光子學(xué)應(yīng)用的砷化鎵和磷化銦。
功能
對直徑達200毫米的化合物半導(dǎo)體材料進行缺陷檢測。
支持各種晶圓厚度
適用于宏觀和微觀缺陷，如裂紋、多量子阱擾動、微粒、劃痕、凹坑、凸起和沾污缺陷
應(yīng)用案例
襯底質(zhì)量控制
襯底供應(yīng)商對比
入廠晶圓質(zhì)量控制(IQC)
出廠晶圓質(zhì)量控制(OQC)
CMP（化學(xué)機械拋光工藝）/拋光工藝控制
晶圓清洗工藝控制
外延工藝控制
襯底與外延缺陷關(guān)聯(lián)
外延反應(yīng)器供應(yīng)商的對比
工藝機臺監(jiān)控
行業(yè)
高亮度LED、微型LED包括AR|VR
氮化鎵的射頻和氮化鎵的功率應(yīng)用
通信（5G、激光雷達、傳感器）
其他化合物半導(dǎo)體器件
選項
SECS-GEM
信號燈塔
金剛石劃線
校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)
離線軟件
光學(xué)字符識別(OCR)
光致發(fā)光
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