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KLA Candela® 6300系列光學(xué)表面分析儀系統(tǒng)
| 參考價(jià) | ￥50000-￥999999/臺(tái) |
- 公司名稱 德國(guó)韋氏納米系統(tǒng)（香港）有限公司
- 品牌KLA-Tencor
- 型號(hào)
- 所在地香港特別行政區(qū)
- 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間2025/3/9 22:57:56
- 訪問(wèn)次數(shù) 48
KLA Candela® 6300光學(xué)表面分析儀系統(tǒng)光學(xué)表面分析儀系統(tǒng)光學(xué)表面缺陷
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KLA Candela® 6300系列光學(xué)表面分析儀系統(tǒng)基于激光的硬盤驅(qū)動(dòng)器基板檢測(cè)系統(tǒng)，可測(cè)量整個(gè)磁盤的表面形貌，微觀粗糙度和波紋度，并檢查晶圓表面是否存在缺陷。自動(dòng)化模型Candela 6340配有片盒對(duì)片盒傳輸系統(tǒng)。
KLA Candela® 6300系列光學(xué)表面分析儀系統(tǒng)利用多通道光學(xué)設(shè)計(jì)，結(jié)合激光穩(wěn)定性管理技術(shù)，以及強(qiáng)大的光學(xué)表面測(cè)量功能，對(duì)邊緣roll-off、紋理/拋光均勻性、高密度互連的表征以及劃痕和微粒進(jìn)行檢測(cè)。檢測(cè)和量測(cè)系統(tǒng)的光學(xué)掃描技術(shù)可在徑向和切線方向上對(duì)整個(gè)磁盤的形貌進(jìn)行量測(cè)，并允許制造商使用單一的工具來(lái)測(cè)量整個(gè)空間光譜。KLA Candela® 6300系列增加了激光功率、降低了本底噪聲以及新的光學(xué)設(shè)計(jì)消除了對(duì)用于缺陷檢測(cè)的濺射玻璃基板的需求，從而可以識(shí)別<0.1Å的粗糙度變化。
功能
提供業(yè)界最寬的空間帶寬和優(yōu)秀的本底噪聲
測(cè)量切向、徑向粗糙度和波紋度
可重復(fù)量測(cè)金屬和玻璃介質(zhì)并與AFM測(cè)量結(jié)果相關(guān)聯(lián)
對(duì)不同尺寸的磁盤進(jìn)行快速的全晶圓檢測(cè)
對(duì)輕微劃痕、沾污和微粒檢測(cè)具有高靈敏度
創(chuàng)新型光學(xué)表面分析(OSA)技術(shù)
可提供手動(dòng)(6310) 或全自動(dòng)(6340)
應(yīng)用案例
粗糙度和波紋度分析
缺陷檢測(cè)
劃痕和隆起檢查
微粒和沾污檢測(cè)
微觀波紋度測(cè)量
選項(xiàng)
精密的金剛石劃線
離線軟件
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