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MPTD 助力半導(dǎo)體蝕刻工藝 : 高低溫一體機(jī)

參考價(jià)55555-999999/件
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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高低溫一體機(jī),冷熱一體機(jī),模溫機(jī),油溫機(jī),水溫機(jī),電加熱油爐,冷水機(jī),TCU溫控系統(tǒng)

價(jià)格區(qū)間 5萬(wàn)-10萬(wàn) 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,能源,電子,制藥,汽車(chē)
控溫精度 0.1℃ 控溫范圍 -60℃至250℃
在半導(dǎo)體蝕刻工藝?yán)?,溫度?duì)蝕刻效果影響重大。哪怕微小的溫度偏差,都可能擾亂蝕刻速率,破壞芯片微觀結(jié)構(gòu),進(jìn)而影響半導(dǎo)體產(chǎn)品性能與良品率。為滿足半導(dǎo)體蝕刻的嚴(yán)苛溫控需求,我們精心打造了這款高低溫一體機(jī)
這款一體機(jī)的溫控范圍極為寬泛,從 -60℃的極寒到 250℃的高溫,都能精準(zhǔn)把控,溫度控制精度可達(dá) ±0.1°C。憑借如此精準(zhǔn)的溫控,它能為蝕刻過(guò)程提供穩(wěn)定適宜的溫度環(huán)境,有效規(guī)避因溫度波動(dòng)導(dǎo)致的蝕刻速率不均,無(wú)論是高深寬比蝕刻,還是超精細(xì)線條刻畫(huà),都能確保蝕刻均勻性,保障芯片微觀結(jié)構(gòu)精準(zhǔn)無(wú)誤,為制造高性能半導(dǎo)體芯片筑牢根基。
面對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)快節(jié)奏,一體機(jī)的響應(yīng)速度也很出色。當(dāng)蝕刻工藝需在不同溫度區(qū)間快速切換時(shí),它能迅速響應(yīng),滿足需求,大幅提升生產(chǎn)效率。例如,某大型芯片制造企業(yè)引入后,蝕刻工序日產(chǎn)能提升 ,生產(chǎn)周期顯著縮短。
一體機(jī)搭載智能溫度控制系統(tǒng),可根據(jù)蝕刻實(shí)時(shí)需求,自動(dòng)精準(zhǔn)調(diào)節(jié)制冷制熱功率,既精準(zhǔn)控溫,又降低能耗。

在設(shè)備布局上,它設(shè)計(jì)緊湊、人性化,不占過(guò)多車(chē)間空間,新舊車(chē)間皆能輕松適配。安裝調(diào)試簡(jiǎn)便,技術(shù)人員可快速完成部署,模塊化設(shè)計(jì)讓后期維護(hù)輕松,降低企業(yè)維護(hù)成本與停機(jī)時(shí)間。其外殼采用高強(qiáng)度、耐腐蝕材料,可適應(yīng)復(fù)雜生產(chǎn)環(huán)境,延長(zhǎng)設(shè)備使用壽命。無(wú)論是芯片制造企業(yè),還是半導(dǎo)體科研機(jī)構(gòu),這款高低溫一體機(jī)都是優(yōu)化蝕刻工藝、提升產(chǎn)品質(zhì)量的優(yōu)質(zhì)選擇,助力企業(yè)在競(jìng)爭(zhēng)中搶占先機(jī)。具體參數(shù)如下:







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