沉積速率監(jiān)控/控制系統(tǒng)
- 公司名稱 巨力科技有限公司
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地 美國
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2017/7/13 10:30:45
- 訪問次數(shù) 526
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可控環(huán)境型微納米力學測試系統(tǒng),超納米壓痕儀,納米壓痕儀,動態(tài)超顯微硬度計,超顯微硬度計,納米硬度計,納米劃痕儀,顯微劃痕儀,大載荷劃痕儀,納米摩擦儀,摩擦儀,摩擦試驗機,高溫摩擦試驗機,真空摩擦試驗機,膜厚儀,球磨儀,高精度臺階儀,三維微納米輪廓儀,原子力顯微鏡，薄膜應力測量儀，全息顯微鏡，激光測振儀，激光干涉儀，激光測速儀，光譜型橢偏儀，掃描霍爾探針顯微鏡，精密d33測試儀，薄膜d33測試儀，高溫介電測量系統(tǒng)，表面等離子體共振儀，激光拉曼顯微鏡PCT測試儀，碳納米制備系統(tǒng)，原子層沉積系統(tǒng)，電子束蒸發(fā)系統(tǒng)熱蒸發(fā)系統(tǒng)超高真空蒸發(fā)系統(tǒng)磁控濺射系統(tǒng)分子束外延系統(tǒng) MBE有機分子束沉積 OMBD等離子增強化學氣相淀積系統(tǒng) PECVD電子回旋共振等離子體增強化學氣相沉積 ECR-PECVD低能離子減薄儀，離子減薄儀，拋光機，精密切片機，微熱臺
| 主要特點
＊實時薄膜沉積速率、薄膜厚度和光學常數(shù)（n&k）分析，同時標準偏差統(tǒng)計分析； ＊自動程序化校準； ＊精密的實時反饋系統(tǒng)； ＊程序控制，可實時多層薄膜沉積監(jiān)控和控制； ＊多Wafer監(jiān)控功能； ＊Wafer基底旋轉(zhuǎn)監(jiān)控和控制功能； ＊所有參量原位實時檢測； ＊操作裝配簡單便捷； | ||
*的薄膜沉積速率監(jiān)控系統(tǒng)，采用無損的激光技術實時原位檢測薄膜沉積速率、薄膜厚度以及光學常量（n&k），可廣泛的應用于金屬有機化學氣象沉積MOCVD、分子束外延MBE、濺射系統(tǒng)Sputtering和蒸發(fā)系統(tǒng)等薄膜沉積過程的實時原位監(jiān)控。 |
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