K1050X 射頻等離子處理儀(等離子刻蝕\清潔\灰化)
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 南京覃思科技有限公司
- 品牌
- 型號 K1050X
- 產(chǎn)地 英國MITECH
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2017/7/17 11:21:48
- 訪問次數(shù) 1150
產(chǎn)品標(biāo)簽
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掃描電子顯微鏡;掃描電鏡;透射電鏡;超小型臺式透射電鏡;桌上型透射電鏡;英國EMITECH;電鏡制樣設(shè)備;熱蒸鍍鍍膜儀;鍍碳儀;噴碳儀;噴金儀;臨界點干燥儀;冷凍干燥儀;離子濺射鍍膜儀;磁電靶濺射鍍膜;高真空鍍膜儀;韓國掃描電鏡;SEM;TEM;三坐標(biāo)測量儀;超高倍顯微診斷儀;冷光儀;生化發(fā)光檢測儀;生物顯微鏡;金相顯微鏡;體視顯微鏡;偏光顯微鏡;熱臺;表面張力/接觸角測定儀;亮度色度計;色彩輝度計;CCD攝像頭;顯微圖像分析軟件;顯微鏡數(shù)字化改造;3D三次元測量儀
K1050X等離子處理單元由固態(tài)射頻發(fā)生器結(jié)合調(diào)諧電路組成,同時兩種處理氣體流量針閥監(jiān)控,全部或部分通氣口控制。
它的腔室為圓柱形,樣品裝載為抽屜式抽拉系統(tǒng),方便使用。
真空系統(tǒng)為旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵或可選用膜片泵作為前級真空的渦輪分子泵。
在真空裝載端口及SEM/TEM中特殊的清潔應(yīng)用時,可方便更換抽屜式抽拉系統(tǒng)。
此系統(tǒng)通常使用氧及氬的混合氣體,氧去除有機(jī)物質(zhì)(碳?xì)浠衔铮瑲鍖悠繁砻孢M(jìn)行刻蝕。
它的腔室為圓柱形,樣品裝載為抽屜式抽拉系統(tǒng),方便使用。
真空系統(tǒng)為旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵或可選用膜片泵作為前級真空的渦輪分子泵。
在真空裝載端口及SEM/TEM中特殊的清潔應(yīng)用時,可方便更換抽屜式抽拉系統(tǒng)。
此系統(tǒng)通常使用氧及氬的混合氣體,氧去除有機(jī)物質(zhì)(碳?xì)浠衔铮瑲鍖悠繁砻孢M(jìn)行刻蝕。
應(yīng)用:
● 石棉試樣制備
● 石棉試樣制備
● 有機(jī)材料微觀灰化
● SEM&TEM中有機(jī)樣品刻蝕
● 去除光刻膠及電子元件中的包膠
● 塑料品的表面處理
● SEM/TEM中的樣品夾清洗
特點:
● 固態(tài)射頻發(fā)生器及調(diào)諧電路
● 固態(tài)射頻發(fā)生器及調(diào)諧電路
● 全自動控制
● 抽屜式結(jié)構(gòu)
● 兩種處理氣體
● 緊湊的臺式系統(tǒng)
優(yōu)點:
● 低溫灰化過程
● 易操作
● 裝/卸樣品方便
● 可選擇不同的混合氣體
● 節(jié)省空間
● 注:我們建議使用No. 2泵,
它具有“的油”。
技術(shù)規(guī)格
儀器尺寸:450mm W x 350mm D x 300mm H 重量:25Kg
桶形工作腔室:‘Pyrex’160mm L x 110mm Dia.(硼硅酸鹽玻璃作為標(biāo)準(zhǔn)配置)
儀器尺寸:450mm W x 350mm D x 300mm H 重量:25Kg
桶形工作腔室:‘Pyrex’160mm L x 110mm Dia.(硼硅酸鹽玻璃作為標(biāo)準(zhǔn)配置)
拉出式抽屜:樣品托盤為抽拉式
等離子輸出:射頻電源-固態(tài)150瓦射頻峰值,通常操作范圍在25到75 瓦 @ 13.56mhz.
等離子輸出:射頻電源-固態(tài)150瓦射頻峰值,通常操作范圍在25到75 瓦 @ 13.56mhz.
(備注:所使用的頻率為標(biāo)準(zhǔn)組織CISPR認(rèn)可的“工業(yè)”頻率)
真空測量范圍:完整的操作真空顯示的活性計量頭ATM - 1x10-5 mbar全刻度-通常操作真空為0.5mbar到1.0mbar
數(shù)字計時單元:99.9小時選擇范圍時間顯示。在灰化過程結(jié)束后自動終止。
雙氣體流控制:雙氣體針閥控制,可選1或2或兩種氣體(校準(zhǔn)5到 100cm3/分 空氣 @ A.T.P.)
電源:230V 50Hz (包括泵zui大電流5 Amp);115V 60Hz(包括泵zui大電流10 Amp)
Services: Process Gas at nominal 5 psi, (0.33bar)
真空泵:No. 2 泵 (with a synthetic oil "Fomblin" for Oxygen or Corrosive Process Gases.) 2m3/Hr