島津企業(yè)管理（中國(guó)）有限公司
紅外光譜法分析光刻膠的主成分
檢測(cè)樣品：光刻膠
檢測(cè)項(xiàng)目：成分分析
方案概述：光刻膠是微電子制造的核心材料之一，具有極高的技術(shù)壁壘，其成分配方工藝對(duì)光刻產(chǎn)品的性能具有重大影響。本文探索建立紅外光譜定性分析光刻膠主要成分的方法，通過(guò)測(cè)試烘干光刻膠溶劑前后的紅外光譜圖，結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)譜庫(kù)和官能團(tuán)分析等手段，可獲得光刻膠中主要成分信息。該法具有分析速度快、操作簡(jiǎn)單、成本低和結(jié)果可靠等優(yōu)勢(shì)，可作為分析光刻膠成分的手段之一。
光刻膠工藝和質(zhì)量直接關(guān)系微電子制造的性能和可靠性,其主成分及雜質(zhì)分析是質(zhì)量控制和研發(fā)的重要內(nèi)容。紅外光譜儀是分析材料成分的有力工具,具有測(cè)試速度快、成本低、結(jié)果可靠等優(yōu)點(diǎn)，可為光刻膠的成分鑒別提供重要可靠數(shù)據(jù)支撐。
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