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PR500：手動控制 PR510：自動觸摸屏控制
低溫等離子的經典款非常具有歷史性。采用自動協(xié)調功能及觸摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設備。
用途
● 去除光刻膠
● 部品清洗
● 界面活性處理
● 微研磨
● 硅晶圓，玻璃基板對應
特征
● 大口徑（Φ215mm）石英反應腔
● 小型一體化設計
● 操作簡單的觸摸屏方式（PR510型）
低溫等離子的經典款非常具有歷史性。采用自動協(xié)調功能及觸摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設備。
用途
● 去除光刻膠
● 部品清洗
● 界面活性處理
● 微研磨
● 硅晶圓，玻璃基板對應
特征
● 大口徑（Φ215mm）石英反應腔
● 小型一體化設計
● 操作簡單的觸摸屏方式（PR510型）
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