大面積掃描開爾文探針系統(tǒng)能夠在垂直方向移動開爾文探針實現(xiàn)電動控制開爾文探針與樣品的距離。 樣品安裝到真空吸盤上，真空吸盤可帶著樣品移動150x150mm位移，從而實現(xiàn)開爾文掃描探針系統(tǒng)大面積掃描樣品表面。探針系統(tǒng)、開爾文探針系統(tǒng)、掃描開爾文、大面積掃描開爾文、掃描開爾文探針系統(tǒng)

大面積掃描開爾文探針系統(tǒng)特色:

• 電動控制開爾文探針與樣品的距離

• 電動控制樣品XY移動范圍150 mm x 150 mm

• 具有編碼器的主動定位定位追蹤系統(tǒng)

• Z方向步進大小: 625 nm

• X - and Y-方向: 5 µm / microstep

• 功函分辨率:: < 1 meV with 1.4 mm tip diameter on metals

• 小的探針直徑: 0.1 mm

• 集成法拉第防護功能

• 框架表面鍍金

• 開爾文探針頭采用純金工藝

• 大外形尺寸: 50 cm (W) x 60 cm (D) x 25 cm (H)

• 大樣品尺寸: 150 mm x 150 mm

• 真空樣品吸盤

• 包含參考樣品標準: HOPG, Au on Si, Al/Au-edge, Potential Check

• 可選配溫度和濕度傳感器