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| 價(jià)格區(qū)間 | 300萬-400萬 | 儀器種類 | 場發(fā)射 |
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| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè),冶金,司法,綜合 |
多功能探測器及高空間分辨率，使 MAIA3 型超高分辨掃描電鏡能觀察到樣品較精細(xì)的表面細(xì)節(jié)。這對于納米材料的綜合表征，半導(dǎo)體工業(yè)中對電子束敏感樣品及未鍍膜的生物樣品等非導(dǎo)電樣品的成像都非常適合。
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
突出特點(diǎn)
Triglav™- 新型超高分辨率(UHR) 電子光學(xué)鏡筒
- TriLens™ 物鏡系統(tǒng)：*的電子束無交叉模式與三物鏡相結(jié)合；
- 具有多個(gè) SE 及 BSE 探測器的探測系統(tǒng)；
- TriSE™+TriBE™
- Triglav™ - 低加速電壓下的超高分辨率: 1 nm ( 1 keV ), 0.7 nm ( 15 keV )；
- 全新的 EquiPower™技術(shù)進(jìn)一步提高電子束的穩(wěn)定性；
- 電子束流高達(dá) 400 nA，并能實(shí)現(xiàn)電子束能量的快速改變；
- 優(yōu)化的鏡筒幾何設(shè)計(jì)大可容納8”晶圓
- 實(shí)時(shí)電子束追蹤技術(shù)（In-Flight Beam Tracing™)可對電子束實(shí)時(shí)優(yōu)化；
- 擴(kuò)展的低真空模式，樣品室氣壓能達(dá)到 500 Pa，實(shí)現(xiàn)不導(dǎo)電樣品的觀測；
- *的 TriBE™具有三個(gè) BSE 探測器，可以選擇不同立體角的信號進(jìn)行采集。位于鏡筒內(nèi)部的 Mid-Angle BSE 和 In-Beam LE-BSE 探測器，分別用于檢測中角及軸向的高角背散射電子，而樣品室的 BSE 探測器用于探測低角背散射電子。三個(gè)探測器可以提供不同襯度的圖像，并且能探測到低于 200 eV 的低能背散射信號；
- *的 TriSE™具有三個(gè) SE 探測器，所有工作模式下二次電子信號的采集都進(jìn)行了優(yōu)化。位于鏡筒內(nèi)部的 In-Beam SE 探測器能在短工作距離下采集二次電子，SE ( BDM ) 探測器用于電子束減速模式下的超高分辨成像。In-Chamber SE 探測器能提供形貌襯度和立體感；
- 電子束減速技術(shù)（BDT）可在低至 50 eV 的低電子束能量下實(shí)現(xiàn)出色的分辨率（選配）。
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