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橢圓偏振測厚儀 偏振測厚儀 測厚儀

時間:2011/10/19閱讀:623
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橢圓偏振測厚儀 偏振測厚儀 測厚儀 型號:TP-TPY-1

在近代的許多域中對各種薄膜的研究和應(yīng)用日益廣泛。因此,更加和迅速的測定給定薄膜的光學參數(shù)已變得更加迫切和重要。在實際作中可以利用各種傳統(tǒng)的方法測定光學參數(shù),如:布儒斯角法測介質(zhì)膜的折射率,干涉法測膜厚,其它測膜厚的方法還有稱重法、X射線法、電容法、橢偏法等。由于橢圓偏振法具有靈敏度、度、非破壞性測量等優(yōu)點,因而,橢圓偏振法測量已在光學、半導體、生物、學等諸多域得到廣泛應(yīng)用。

產(chǎn)品點:
儀器采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率,具有度、靈敏度以及方便測量等點;
光源采用氦氖激光器,率穩(wěn)定、波長度;
儀器配有生成表、查表以及計算等軟件,方便用戶使用。
 
規(guī)格與主要標:
測量范圍:薄膜厚度范圍:1nm-300nm;      折射率范圍:1-10
測量zui小示值:≤1nm                      入射光波長:632.8nm  
光學中心:80mm                         允許樣品尺寸:φ10-φ140mm,厚度≤16mm    
偏振器方位角范圍:0°- 180°讀取分辨率為0.05°
測量膜厚和折射率重復(fù)性度分別為:±1nm和±0.01
主機重量:25kg    入射角連續(xù)調(diào)節(jié)范圍:20°- 90°度為0.05°
 
成套性:主機、電控系統(tǒng)、計算軟件
外形尺寸:680*390*320mm
 

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